公告日期：2015年11月21日

招标编号: 2015[394]

招标机构: 南京大学国有资产管理处

地址：南京市鼓楼区汉口路22号南京大学（国有资产管理处2楼办公室）

邮编：210093

电话：***-********

联系人：王咏妙王旭 张洁 刘晓雪 吕春梅

南京大学国有资产管理处具体承办南京大学“等离子增强化学气相沉积系统”项目的招标采购事宜，欢迎有意向的合格投标人报名投标。

邮件报名截止时间：2015年11月28日上午10:00。

一、报名方式：

合格投标人将营业执照（加盖公章）扫描件和投标申请表（见下表，Word 文档）以附件形式发至：bidnju@126.com。报名邮件主题统一为：2015[394]等离子增强化学气相沉积系统。因报名邮件主题不符合要求导致报名信息未能被统计，本招标机构概不负责。
投标申请表

项目名称：

投标编号：

投标单位：

联系 人：

联系方式：

电子邮箱：

申请时间：

二、招标要求：

1、260mm直径不锈钢下电极，能加热350℃或以上

2、反应室进气方式:shower head进气；反应室盖子自动开关,反应室易于清洁

3、13.56MhzRF射频源及自动匹配单元，不小于300W

4、主机集成气箱,工艺气体管道6路：SiH4，NH3, N2, N2O,O2, C2F6

*5、工艺真空使用Booster pump和Rotary pump；初抽使用独立的Rotary pump提高安全性并减少反应物沉积

6、使用触摸屏或PC操作，具有良好的用户界面，操作简单；手动自动模式

*7、工艺指标要求：沉积SiO2，沉积速度大于30nm/min, 单片均匀性不大于+/-5%, 片间均匀性不大于+/-5%

三、其他事项：

1、参与投标的公司必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

2、法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司，都不得同时投标，否则取消其投标资格；

3、此采购事宜的解释权属于南京大学国有资产管理处。

南京大学国有资产管理处

二〇一五年十一月二十一日