哈尔滨工业大学基础与交叉科学研究院PECVD系统采购项目
哈尔滨工业大学基础与交叉科学研究院PECVD系统采购项目
| 公告时间： | 2015-12-02 09:02:47 | ||||||||
| 项目名称： | 哈尔滨工业大学基础与交叉科学研究院PECVD系统采购项目 | ||||||||
| 项目编号： | GDC-****************2 | ||||||||
| 中央国家机关政府采购中心受采购单位 哈尔滨工业大学 委托,对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上竞价。 | |||||||||
| 采购项目信息 | |||||||||
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学 | 报价截止时间： | 2015-12-07 09:02:47 | ||||||
| 联系人： | 邱老师 | 送货地点： | 哈工大科学园 | ||||||
| 联系电话： | ******** | 到货时间： | 采购结果公告后 15 天内到货 | ||||||
| 联系邮件： | * | 项目预算： | 95000.0(注：此预算在采购人可支付的情况下可增加金额) | ||||||
| 剩余时间： | 签约时间： | 成交公告发布后7个工作日内签署合同 | |||||||
| 资质要求 | |||||||||
| 售后服务网点： | 无具体要求 | 销售资质需求： | : | ||||||
| 专业资质需求: | |||||||||
| 踏勘需求 | |||||||||
| 踏勘地点： | 无 | 踏勘时间： | 无 | ||||||
| 联系人： | 无 | 联系电话： | 无 | ||||||
| 资质要求： | 根据《中央国家机关政府采购中心网上竞价操作规程》（国机采办【2014】10号），采购人对产品质保或售后维保有要求的，供应商应按要求上传相应的质保或售后维保承诺函。承诺函应当真实有效。 售后服务承诺函或承诺书应加盖公章并以附件形式上传。在售后服务承诺函或承诺书之外进行说明内容的不视为有效文件。 供应商在竞价时，须根据资质要求中的内容以附件形式上传相关资质证明。 | ||||||||
| 采购商品信息 | |||||||||
| 商品分类 | 参考品牌 | 规格型号 | 单位 | 数量 | 产地要求 | 维保质保要求 | 偏离表 | 技术指标 | |
| 实验室设备 | 科晶 | OTF-1200X-II-80 | 台 | 1 | 中国 | 供应商 1年 | 描述：该系统由：管式炉、供气系统、射频电源、真空泵及一些连接件组成。1、管式炉：采用合肥科晶OTF-1200X-II-80炉体，其最高温度可达到1200℃，并可通过调节两个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度。两个温区分别由两个独立的温控系统来控制，而且都为PID30段程序化控温。此系列管式炉可以用CVD方法来生长纳米材料和制备各种薄膜。 1.1 炉体结构：采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度<60度；炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失；内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度。1.2 工作温度： 最高温度: 1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)，工作温度: 1100℃，推荐升温速率:≤ 20℃ /min 。1.3 炉管规格：80*1000mm，加热区总长度：400mm，控制精度：±1℃1.4 主要电器元件及要求：主要电器元件采用ABB电器，并通过UL认证，控制仪表采用宇电30程序控温。配有304法兰一套，及相应的密封圈和管堵。电压220V，功率：3KW。2、供气系统：采用合肥科晶GSL-3Z 三路质子混气系统，可同时进行三种气体的混合。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内，而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。2.1 主要技术参数：工作电压182-245V/50HZ；最大输出功率：18W；工作温度：5-45℃； 最大气压：3×106Pa；精度：±1%FS；质量流量计量程：1:0-100sccm，2:1-199sccm，3:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计；压力表量程：-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)；不锈钢截止阀：采用316不锈钢制作；气体连接管：采用1/4“的不锈钢管， 仪器中配有1/4”的PTFE；混气罐尺寸：Φ80X120mm；仪器尺寸：600x600x650 mm2.2 移动柜：质量流量计和混气罐都安装在移动柜内；移动柜顶部可放置管式炉；最大承重量：227kg3、射频电源：功率：500W主要技术参数：射频频率:13.56 MHz ±0.005%；功率输出范围：5-500W； 最大反射功率：200W； 电压：AC208-240V，50/60Hz；溅射区域宽度：0-600MM可调；匹配： 自动； 冷却：风冷； 噪声：<50 dB. 射频接口：50Ω,N-type4、其它配件：真空泵2XZ-2一台，抽气率：2L/S不锈钢档板阀一套，不锈钢波纹管一支及连接配件。5、要求：上门安装调试，保证PECVD系统正常运行，不需要再另行购买其它配件。 | ||
| 我要竞价 | |||||||||
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