★电子光学系统 ★1.电子枪:预对中型发叉式钨灯丝电子枪 ★2.分辨率: 2.5nm @ 20 kV; 4 nm @ 3 kV; 5 nm @ 1 kV ★3.加速电压范围:0.1kV~30 kV ★4.放大倍数范围: 1 x~****** x(底片放大倍数,1~16x光学放大) ★真空系统 ★1.真空系统:1台涡轮分子泵,≥ 240 L/S;1台机械泵,200 L/min(50 Hz) ★2.全自动真空控制,具有真空互锁功能,有效避免误操作 ★3.真空度:≤ 5×10-4 Pa ★4.抽真空时间:≤ 5 min ★5.放气时间:≤ 2 min ★样品仓及样品台 ★1.扩展接口≥11个(不含快速换样口),可安装多种分析附件 ★2.样品台: 五轴自动样品台行程:X ≥ 120 mm;Y≥ 115 mm;Z ≥50 mm;R:360°连续可调;T: -10°~ ﹢90° 最大载入样品尺寸:直径≥250 mm,高≥53 mm ★3.样品仓容积:宽≥340 mm,高≥274mm,深≥295 mm; ★4.最大样品重量:≥500g; ★探测器及选配件 侧向低角度电子探测器;镜筒内高角度电子探测器;平插式中角度背散射电子探测器 ★图像与处理系统 ★1.显示方式:全屏显示、分屏显示 ★2.扫描速度:预设四种扫描模式,扫描速度可自由配置,同时也支持感兴趣区域扫描模式 ★3.测量功能:支持多种测量标记工具,如长度、角度、直径等 ★4.图像注释与数据区:提供标准数据区,可在图片上显示各种电镜参数 ★5.状态菜单:显示各种工作参数 ★6.测量功能:支持多种测量标记工具,如长度、角度、直径等 ★7.最大单张存储分辨率:最小768×512,最大为8448×5632; ★8.图像存储格式:TIFF、JPG、PNG、BMP格式 ★9.操作设备:键盘、鼠标 ★10.自动调整功能:自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等 ★11.特色功能:智能辅助消像散、大图拼接(选配) ★12.已拍摄图片定位功能 ★13.图像混合像(BSE+SE):支持一键切换SE和BSE的混合成像,比列可调 ★14.可进行多通道成像,分屏上可同时进行不同信号成像 ★15.标配光学导航功能 ★16.配套计算机系统 ★操作系统:windows 10专业版 PC:专业工作站;配置:CPU:不低于I7,内存:≥16G,硬盘 ≥500 G;显示器:≥24寸(专业图像显示器,分辨率1920×1200) |