等离子增强化学气相沉积招标公告
等离子增强化学气相沉积招标公告
| 项目名称 | 等离子增强化学气相沉积 | 项目编号 | XF-WSBX-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2023-09-01 23:14:34 | 公告截止日期 | 2023-09-09 01:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后30个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后90个工作日内 |
| 预算总价 | ￥210,000.00 | ||
| 收货地址 | 浙江省杭州市天目山路148号浙江大学西溪校区西二教学楼124室 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 等离子增强化学气相沉积 | 1 | 台 | 其他仪器仪表 |
| 预算单价 | ￥210,000.00 |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 1、1200双温区管式炉1台 （炉管直径：100mm，长度1200mm）； 2、三通道质量流量计1台（防腐）（氩气：0～100SCCM；氨气：0～200SCCM（防腐）；TiCl4：0～200SCCM）； 3、500W 13.56MHz射频等离子发生器1台； 4、VRD-4低噪音双极旋片真空泵1台（抽速：4立方米/小时）； 5、防腐性陶瓷薄膜规（进口：PCG550）1支； 6、不锈钢真空法兰1套（直径100mm）； 7、相关配件1套 |
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2023-09-01 23:14:34
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