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沈阳仪表科学研究院有限公司磁控溅射镀膜设备
采购项目招标公告
招标编号：XDZH-2022YBHW-15
公告发布时间：2023 年 9 月 4 日
1. 招标条件
本招标项目为磁控溅射镀膜设备采购项目，招标人为沈阳仪表科学研究院有
限公司，为高精度传感器项目专项资金。该项目已具备招标条件，现对磁控溅射
镀膜设备采购项目进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容：磁控溅射镀膜设备 1 台，最高限价 200 万元。
2.2 设备用途：采用磁控溅射沉积技术，通过精确稳定的工艺参数控制，实
现在硅玻璃陶瓷等材料基底上沉积多层金属氮化钛合金薄膜功能的溅射
镀膜设备，特别是贵重金属材料薄膜，如 AuPt 等。
2.3 系统技术指标要求：
2.3.1 具有离子束清洗功能：采用射频离子源，对样品进行镀膜前的 Ar
离子轰击清洗。采用考夫曼型射频离子源，无灯丝。
2.3.2 样品数量：设备应保证破真空一次可以支持4 英寸样品不少于
24 片或6 英寸样品不少于 12 片样品的均匀镀膜。
2.3.3 靶材利用率：设备的构架及镀膜过程，应保证靶材利用率更高，优
选靶材利用率更高的方案。
2.3.4 溅射形式：采用磁控靶与样片平行溅射模式。
2.3.5 镀膜不均匀性：片内片间4%4 英寸样品，不少于 24 片
/炉或6 英寸样品，不少于 12 片/炉情况下，批间重复性2%。
2.3.6 动态溅射速率：Al 靶材最大速率不低于 80nm/min。
2.3.7 主要真空指标
(1) 极限真空度:优于 6.710 -5Pa5x10 -7Torr
(2) 真空腔室洁净情况下，达到 6.710 -4Pa 所用的时间不大于
30min
(3) 极限真空下关闭阀门，12h 后5Pa。
2.4 需要提供完整的 PM check list，方便定期维护保养。
2.5 交货期：6 个月内。
2.6 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上
相关产品的销售经验
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 9 月 5 日 9:00 时至 2023 年 9 月 11 日 16: 00 时
北京时间，节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务
大厦1705室现场领购或通过电子邮件xdgjybyyeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 9 月 25 日 9 时 30 分前现场
递交至北京兴电国际工程管理有限公司会议室地址：沈阳市皇姑区昆山中路 2
号万众商务大厦。
5.2 逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站http://www.cebpubservice.com/
上发布，因轻信其他组织个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地 址：沈阳市大东区北海街 242 号
联 系 人：冯军龙
电 话：15734099921
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地 址：沈阳市皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：尹洪伟付云鹏
联系电话：18525035687
电子邮箱：xdgjybyyeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人： 签
名
招标人或其招标代理机构： 盖章