采购人(盖章)

中北大学

采购项目所属项目名称

2015年中央财政支持地方高校发展专项资金

采购项目名称及金额

磁控溅射镀膜设备210万元

项目组织单位

中北大学

项目使用单位

中北大学

申请理由

□1.中国境内无法获取：□2.无法以合理的商业条件获取：√3.其他。

论证专家基本情况

姓名

性别

职称

从事专业

工作单位

联系电话

桑胜波

男

副教授

微纳测试

太原理工大学

137*****863

张雪英

女

教授

电子科学技术

太原理工大学

130*****372

王军民

男

教授

光电科学

山西大学

138*****349

李朋伟

男

副教授

微纳传感

太原理工大学

152*****807

岳文婷

女

律师

经济法学

山西弘韬律师事务所

138*****289

拟采购采购进口产品基本情况、申请理由

磁控溅射镀膜技术是在七十年代迅速发展起来的一种“低温高速溅射技术”。由于其“低温、高速、成膜速率高、膜粘附性好、可实现大面积镀膜”等特点，而被广泛应用。国产的磁控溅射镀膜设备的性能在许多方面与国际产品相比有一定的差距，对科学研究和产品质量控制有很大的限制，因此，我们与相关公司进行沟通后确定了系统中所需设备，且拟采购的设备对于微传感器加工领域的研究具有显著的指导意义，能够为后续的研究工作提供良好的实验平台。

专家论证情况及意见

王军民：进口产品用于镀膜，能够实现快速镀膜，均匀性和重复性较好。而国内相关产品控制精度低，设备复杂度高，无法满足科研需求。进口产品采用国外先进制造技术，系统集成度高，建议购买进口产品。

李朋伟：国外公司的磁控溅射镀膜设备较好，可靠性和重复性较高，重复性误差优于5%，性能优于国内产品，具有良好的可操作性，为传感器的封装键合等相关科研项目提供了基础。建议购买进口产品。

桑胜波：磁控溅射镀膜设备在微传感器加工中起着不可替代的作用，国产的设备的性能在许多方面与国际产品相比有一定差距，对科学研究和产品质量控制有很大的限制，建议购买进口产品。

张雪英：国内相关磁控溅射镀膜设备目前和国外产品在技术上有很大差距。设备使用寿命明显低于国外公司的同类产品，均匀性和重复性等各项指标也很难达到较为理想的结果，而国外产品具有较高使用效率和稳定性，建议购买进口产品。

岳文婷：本次采购的磁控溅射镀膜设备不属于限制采购进口产品，符合相关法律规定建议购买。

其他事项

无