资格预审公告

公告编号：DZXYGG202*****0002

一、采购项目基本情况

采购人：无锡华润上华科技有限公司

采购项目名称：8A 外延安全性提升项目

采购项目编号：DZCGXY202*****0001

采购内容和范围：1. 常压外延BKEP03设备工艺腔后排气管路（NW40）至贴建2楼Burn Scrubber入口端管路(4")进行更换，管路材质为不锈钢316L材质，接口大小及规格参照原有管路接口大小及规格；更换三路工艺腔排气管路。
2. 更换作业中管路外包裹加热带的拆卸、安装及后续加热带升温开启恢复。
3. 更换下的积存有大量易燃易爆制程物（HSixOx、HCL、PH3等）的管路，由承揽商负责清洗、至无害后方可处置。
4. BKEP03机台的1台Scrubber循环水泵（春鼎 TMD-75P）和2台防爆风机(锡安达CT4)换新，运行无异常。
5. 制作清洗槽放置于SB 4F外延尾气处理间外部平台处。采用不锈钢金属外框架，长*宽*高：200cm*70cm*100cm，清洗槽内池采用阻燃PP材质，厚度不小于1cm，清洗池内径长*宽*高尺寸为：190cm*60cm*45cm，池内配有2处下排液口，每处下排水垂直管路上配有球阀及Y型过滤器（以防大颗粒掉入堵塞排水管），排液管路采用40UPVC管（美标）。不锈钢金属框架配4个支撑脚，清洗池底部支撑杆间隔不得大于50cm。排液管路弯管处需配置三通，弯头附近需要加装由令，排液管路设置需要能够方便管路拆卸安装，排查堵塞，与现有的排液管路相连。设置就近供水点，提供一套高压喷射水枪和2套管路清洗支架（含不锈钢材质支架及隔热支架脚套），并预留供水接口。
6. 制作清洗机放置于贴建2F。清洗机采用阻燃PP材质，外部长*宽*高不大于150cm*85cm*180cm，清洗机内池采用阻燃PP材质，厚度不小于1cm，清洗池内径长*宽*高尺寸为：120cm*60cm*45cm，清洗池不高于100cm,池内下排液口设置靠近正面，下排水管路每段弯管有由令（以便拆装排查），下排有通断球阀，外部排水配Y型过滤器（以便清理排水颗粒）且Y型过滤器前后配有球阀。清洗机内清洗池需做好承重，至少能够承重200KG。清洗机采用左右移门双轨道设置，移门可拆卸。清洗机需配有1套吹扫装置和可分别拉伸20米、5米的2套水洗喷淋装置，喷淋所配加压泵不大于200W。清洗机的背面和右侧面不得留有动力源接口。

是否采用费率寻源：否

二、申请人资格要求

资格: 1.资格要求：厂商具有半导体外延管路更换方面资历，具有Local Scrubber维护经验。
2.业绩要求：提供在2020年1月1日至今，在国内8寸及以上半导体类leading fab的半导体外延管路更换方面实绩的供应商。
3.信誉要求：厂商相关责任人不属于在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）或各级信用信息共享平台中查明的失信被执行人
4.技术要求：满足此项目工艺及技术要求，详见RFQ
5.供货要求：交货期应满足CSMC的装机要求——23年10月20日前，送至CSMC Fab2。
6.其他要求：保固期内提供本地驻场服务，驻场人员资格：3年以上8寸半导体外延尾管或设备辅机等安装、调试经验（提供相关经验介绍，以及与投标人的劳动合同和社保缴费证明）

三、资格预审文件的获取

资格预审文件在华润集团守正电子招标平台发布，不再另行线下提供纸质文件，凡有意参与者可在本公告期间自行登陆守正平台查看和下载。

四、资格预审申请文件的提交

资格预审申请文件提交截止时间：_ 2023-09-19 08:00:00 __（北京时间，若有变化另行通知）。

资格预审申请文件格式和内容：申请人应根据上述资格要求逐项提供证明资料（扫描件），并对提供的证明资料完整性和真实性负责。

资格预审申请文件提交方式：在资格预审申请文件提交截止时间前，通过华润集团守正电子招标平台提交电子资格预审申请文件，逾期提交将被拒收。若采购人要求线下提供纸质资格预审申请文件的，按相关要求提供。

资格预审审核结果将通过华润集团守正电子招标平台进行发布，请关注相关通知，资审通过的供应商请按通知要求进行后续操作。

五、采购人联系方式

联系人：黄海峰

电话：150*****393

邮箱：huanghf@crmicro.com

六、其它事项

1.本公告在华润集团守正电子招标平台（https://szecp.crc.com.cn）上公开发布。

2.本项目采购通过守正平台线上进行，供应商需注册华润集团守正电子招标平台，按需办理CA电子钥匙（用于需插CA锁报价的项目），通过平台进行响应文件的递交或报价，具体操作步骤可查阅网站首页帮助中心的操作手册，也可以联系守正客服。

3.答疑澄清、通知等文件一经在华润集团守正电子招标平台发布，视为已发放给相应供应商（发放时间即为发出时间），请随时关注华润集团守正电子招标平台发布的相关信息，并及时查阅和处理。