一、项目信息

采购人：北京量子信息科学研究院

项目名称：科研仪器设备氟化氢蒸汽刻蚀机系统

拟采购的货物或者服务的说明：

氟化氢蒸汽刻蚀机系统1套

拟采购的货物或服务的预算金额：230.******0 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

北京量子信息科学研究院本次拟采购的1套氟化氢蒸汽刻蚀机系统用于在量子芯片制备工艺中，需要去除器件中二氧化硅牺牲层来释放微结构，使器件处于悬空状态。要求系统以无水气相氟化氢为刻蚀气体，气态乙醇作为载气，刻蚀速率在10 nm/min至100 nm/min范围内，刻蚀均匀性，片内均匀性波动≤ ±10%，片间重复性≤ ±10%，可兼容最大直径200 mm圆片和小片。
经全球调研，英国厂家SPTS公司拥有自主知识产权（US*******B2）的无水氟化氢气相刻蚀工艺，以无水乙醇为催化剂，真正做到无水刻蚀。一方面体现出对硅衬底，金属以及低应力氮化硅等都有非常好的选择性，因为在水汽作用下，金属等其他材料也会被氢氟酸所腐蚀；另一方面在没有水汽的环境中，刻蚀释放的器件不会出现由于液态张力而与衬底表面的粘附性失效。
综上所述，英国SPTS是市场上唯一能生产出以实现氟化氢干法、无水释放二氧化硅牺牲层的刻蚀机厂家。北京波思特电子科技有限公司是厂家授权在大陆唯一代理供货商，因此申请单一来源方式采购所需的氟化氢蒸汽刻蚀机系统。

二、拟定供应商信息

名称：北京波思特电子科技有限公司

地址：北京市丰台区科学城星火路11号2幢1层103室

三、公示期限

2023年09月18日 至 2023年09月25日

四、其他补充事宜：

专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。
由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
本公示在中国政府采购网发布。

五、联系方式

1.采购人

联系人：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-******** 转 8052　　　　　　

2.财政部门

联系人：北京市财政局采购处

联系地址：北京市通州区承安路3号

联系电话：010-********

3.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，158*****673