采购项目名称：高气压放电实验腔
采购单位：北京市清华大学
付款方式：其他
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后60个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：(1) 实验舱数量：2个，圆柱型； (2) 腔体材质：316L不锈钢 ； (3) 真空系统：1套，涡旋干式真空泵+分子泵； (4) 腔室内尺寸： 小腔：直径200×高300 mm，316L不锈钢材质，壁厚10 mm； 大腔：直径400×高600 mm，316L不锈钢材质，壁厚10 mm； (5) 极限真空：5×10-4 Pa； (6) 从大气进入极限真空时间：小腔25分钟；大腔40分钟；大小腔同时抽真空需60分钟； (7) 腔体密封方式：采用氟橡胶、金属垫圈等密封方式； (8) 工作气体压力：小腔最高压力1 atm（最高承受压力为高于大气压2000 Pa）；大腔0.5 atm，最高承受压力与小腔体相同； (9) 动态控压：1.3 Pa---大气压； (10) 位移台：小腔位移台行程±10 mm，精度为0.1 mm，台面尺寸≤60×60 mm，负载≤6 kg；大腔位移台行程±20 mm，精度为0.1 mm，台面尺寸≤80×80 mm，负载≤10 kg；通过PLC控制，预设数据，位移台默认执行，也可修改数据，位移台按照修改数据执行 ； (11) 操作口与观察口：小腔室和大腔室均有1个操作口和观察口，位于腔室正前方。操作口与观察口在同一开口处。小腔操作口尺寸150 mm，大腔操作口尺寸300 mm。观察窗位于操作口法兰中心部位，小腔Φ100×10 mm视窗1个；大腔Φ200×10 mm视窗1个； (12) 真空电极：小腔室和大腔室均有1个接线用电极，尺寸为M6×25； (13) 真空腔室其他接口：大小腔接口一致，均有KF40航插接口、KF16充气接口、KF16测量真空口、KF25破空口、KF40预抽口，每个腔体预留3个CF35接口接测量线 ； (14) 真空室漏率：1.0×10-13 Pa m3/s；24小时保压小腔体≤20 Pa，大腔体≤12 Pa； (15) 真空规测量范围：大气—1.0×10-5 Pa； (16) 薄膜规：每个腔体分别配量程为1000 Torr，10 Torr的英福康薄膜规，共4只； (17) 工艺气体质量流量控制器：气路共设置2路，分为气路A，气路B，充气所用的流量计用氮气标定； (18) 破空气体：氮气； (19) 安全保护措施：漏电保护 ，真空泵过 载保护，电气互锁保护，充气超过微正压（2000Pa）时进行保护干预； (20) 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能； (21) 使用条件：设备总功率1.85KW，电源220V 50HZ，环境温度 5℃—35℃，相对湿度20%-85%； (22) 电控：通过PLC+触摸屏的方式，系统在一个触摸屏上操作显示各种工作状况、通过权限设定各种信息参数，显示屏能实时显示工作过程、真空度、压力、运行状态，并能进行数据统计
质保期：24个月
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