高真空电阻蒸发镀膜设备采购公告
高真空电阻蒸发镀膜设备采购公告
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购高真空电阻蒸发镀膜设备。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 真空极限 | 是 | 核心指标 | 优于3.0×10^-5 Pa（2.3×10^-7 Torr）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 抽速 | 是 | 核心指标 | 10-20分钟内抽至3.0×10^-4 Pa（分子泵完全启动）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 速率和膜厚监控 | 是 | 核心指标 | 厚度监测范围：1?～9999?，分辨率±0.1?；速率监测范围：0.1?～99.9? /s，分辨率±0.1?/s。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 真空腔室 | 是 | 非核心指标 | 304不锈钢，Φ300×H450mm（净尺寸）；真空室内表面及防污板等抛光至镜面。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 真空系统 | 是 | 非核心指标 | 复合分子泵（抽速：600L/s)+直联旋片泵（抽速：6L/s）组成的大抽速、准无油真空系统；全量程数显复合真空计（1×10^5～1×10^-5 Pa）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 蒸发源 | 是 | 非核心指标 | 3组蒸发源，采用水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料和有机材料的蒸发源结构设计；源间配隔离挡板，源上有独立挡板（两源）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2021年1月起至今的同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 到货后30天内供应商提供面向不少于10人、不低于5小时的现场培训指导，供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期1年。 | 1年2年3年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 合同签订后支付20%，货到学校，验收合格并签署验收报告后支付80% | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后30日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
1、汇款信息
采购代理机构名称：中金招标有限责任公司
采购代理机构开户银行（人民币）：中国建设银行上海斜桥支行
账号（人民币）：310*****800*********
户名：中金招标有限责任公司上海分公司
2、代理服务费收费标准
1980号文下浮37%，每个项目下限为2500.00元人民币，具体金额以成交公告为准，由成交供应商直接向代理机构支付。
上海大学
2023-09-20
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购高真空电阻蒸发镀膜设备。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 真空极限 | 是 | 核心指标 | 优于3.0×10^-5 Pa（2.3×10^-7 Torr）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 抽速 | 是 | 核心指标 | 10-20分钟内抽至3.0×10^-4 Pa（分子泵完全启动）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 速率和膜厚监控 | 是 | 核心指标 | 厚度监测范围：1?～9999?，分辨率±0.1?；速率监测范围：0.1?～99.9? /s，分辨率±0.1?/s。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 真空腔室 | 是 | 非核心指标 | 304不锈钢，Φ300×H450mm（净尺寸）；真空室内表面及防污板等抛光至镜面。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 真空系统 | 是 | 非核心指标 | 复合分子泵（抽速：600L/s)+直联旋片泵（抽速：6L/s）组成的大抽速、准无油真空系统；全量程数显复合真空计（1×10^5～1×10^-5 Pa）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 蒸发源 | 是 | 非核心指标 | 3组蒸发源，采用水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料和有机材料的蒸发源结构设计；源间配隔离挡板，源上有独立挡板（两源）。供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或检验报告或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字的技术偏离表或响应材料的，视为本指标没有实质性响应，将被判定为无效响应。 |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2021年1月起至今的同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 到货后30天内供应商提供面向不少于10人、不低于5小时的现场培训指导，供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期1年。 | 1年2年3年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 合同签订后支付20%，货到学校，验收合格并签署验收报告后支付80% | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后30日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
1、汇款信息
采购代理机构名称：中金招标有限责任公司
采购代理机构开户银行（人民币）：中国建设银行上海斜桥支行
账号（人民币）：310*****800*********
户名：中金招标有限责任公司上海分公司
2、代理服务费收费标准
1980号文下浮37%，每个项目下限为2500.00元人民币，具体金额以成交公告为准，由成交供应商直接向代理机构支付。
上海大学
2023-09-20
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