高温退火炉加装隔热板改造国际招标公告2/06
高温退火炉加装隔热板改造国际招标公告2/06
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高温退火炉加装隔热板改造 | 36腔室 | (1)加装隔热板用于不良改善,提升良率。 (2)确保设备使用制程温度(玻璃基板表面温度):80℃~500℃过程运行无异常。 (3)制程中氧气浓度控制:≤100ppm。 | 0730-234*****0164/06 |
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