磁控溅射镀膜仪

招 标 正 文
 

磁控溅射镀膜仪

采购信息
项目编号 BA********* 项目名称 磁控溅射镀膜仪
经办人单位 物理学院 经办人 成绍恒
预算金额 ******.00 人民币 成交金额 ******.00 人民币
成交供应商 沈阳鹏程真空技术有限责任公司 质保期 12 月
联系地址 辽宁省-沈阳市-沈河区凌云街35号 采购单位 吉林大学超硬材料国家重点实验室
付款方式 货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机 138*****716 交货时间 成交单签订后60天内交货
交货地址 吉林省-长春市-前进大街2699号超硬综合实验楼A210
交货方式 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费 由乙方免费提供及承担
验收方式 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求 1. 质保期：货到验收合格之日起12个月 2. 售后服务提供商：沈阳鹏程真空技术有限责任公司 3. 售后服务机构情况： 规模（技术人员人数）：3人 联系人： 董顺 联系电话：138*****716 服务机构地点：沈阳市沈河区凌云街35号 4. 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：24小时 排除故障时间：48小时 5. 培训方案： 培训次数：不限次数 培训人员数量：不限人数 培训地点：吉林大学珠海校区 费用：免费 6. 本产品专用试剂的优惠供给计划：无 7. 其它服务承诺：定期巡检，每年不少于1次
采购材料 微信图片_202*****155653.jpg

明细清单
采购品目 其他电工、电子专用生产设备 品牌名称 鹏程
名称 磁控溅射镀膜仪 产地及生产商 沈阳-沈阳鹏程真空技术有限责任公司
规格型号 VCT300 数量 1
计量单位 台 保修年限 1 年
单价 ******.00 人民币 总价 ******.00 人民币
主要技术参数 1. 磁控溅射系统 1.1磁控靶数量：1个 1.2磁控电源：1套 1.3靶材尺寸：Ф50mm 1.4磁控靶与基片的距离：60~110mm可调 1.5基片台加热温度：室温~1200°C 1.6工作气路：3路气体（氩气100sccm、氮气20sccm、氧气20sccm） 2.真空系统 2.1溅射室极限真空度：≤6x10-5Pa 2.2系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S 2.3系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa

标签: 磁控溅射 镀膜 BA

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