采购项目名称：腔体式等离子清洗机
采购单位：北京市清华大学昌平校区
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后45个工作日内
交货地址：北京市清华大学昌平校区
技术参数及配置要求：1、不锈钢腔体尺寸：L700×W500×H360mm（可根据客户要求进行调整） 2、两路等离子体源： （1）频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配 （2）进口中频频率40KHz，功率≥1000W可调 （3）射频压力：（10-100）Pa 3、三路质量流量计控制：CF4、O2、Ar （0～200）ml/min，防腐气路，质量流量控制精确控制工艺气体流量，不锈钢抛光气体管路及接口组件气密性良好； 4、电极与清洗架：六块竖直式电极，十件铝制清洗架； 5、产能：设备平均操作周期约6min，单次清洗≥450件 6、控制系统：触摸屏+PLC控制，可同时存储多组不同配方，调用即可。操控系统包括手动模式与自动模式，自动模式下一键式操作，便于日常生产，配方调用适用于不同的产品，避免混批清洗。手动模式便于测试设备性能及日常检修。 7、保护功能：工艺过程实时监视并全程显示运行状态，如射频电源功率、工艺气体质量流量等。故障报警，提示故障项目，良好的互锁和报警功能 1）气压过低或耗尽报警 2）反应仓泄露报警 3）反射功率过大报警 4）泵热过载报警 5）控制面板处设急停按钮 8、设备环境条件： 电源：380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 气源：氮气0.5MPa、压缩空气0.5Mpa工作气体（氧氩等）（0.3～0.5）MPa 排放气：管径（外径）φ35mm，建议将排气管接至室外 场地温度：≤40℃ 相对湿度：RH（35-75）% 9、服务 设备到达用户工厂在接到用户安装调试要求后我方将在48小内派安装调试人员前往，用户方有义务协助我方人员对设备进行安装调试。 安装期间，我方当场实施培训计划。培训包括正常操作、维护、操作问题分析及紧急处理程序等，直到需方人员掌握为止。 保质期：设备验收合格起一年或发货后13个月（以先到达的时间为准）。在质保期内非人为操作造成的等离子清洗机零、部件损坏由我方无偿维修或更换；在质保期过后造成的零部件损坏，我们将收取适当的配件费和人工费并且我方继续提供终身技术支持,质量保证不包括易损件。 在接到用户报修信息后4小时内反应，如果电话不能解决确实需要到现场维修的，我方将派人前往维修。 10、付款条件 签订合同后甲方预付款合同金额的70%、设备安装完成付款合同金额的30%，合同签订后乙方需给甲方合同金额10%的质保金或是履约保函作为质保金，设备安装完毕后稳定运行三个月退还。
质保期：12个月
供应商报名地址：点击进入