根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学超硬材料研磨抛光设备进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：山东大学超硬材料研磨抛光设备

项目编号：SDJXHF********-Z232

项目联系方式：

项目联系人：田老师

项目联系电话：0531-********

采购单位联系方式：

采购单位：山东大学

采购单位地址：山东省济南市山大南路27号

采购单位联系方式：鲁老师 0531-********

一、采购项目内容

购置超硬材料研磨抛光设备对于碳化硅单晶生长、加工及下游外延和器件应用研发工作有重要意义，可以补充现有加工手段无法进行的全自动晶锭抛光、快速减薄等问题。

经调研，国内仅有北京中电科的产品能够快速减薄8英寸碳化硅晶锭，保证100-*****um厚度范围内8英寸碳化硅晶圆表面粗糙度≤3nm，TTV≤5um，其它厂家单台设备无法兼容对不同厚度材料加工及批量制备衬底的需求。因此采用单一来源方式采购。

拟定唯一供应商名称：北京中电科电子装备有限公司

二、开标时间：2023年10月13日 14:30

三、其它补充事宜

获取采购文件：

登录山东大学采购网（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）进行供应商注册，注册完成我中心审核通过后，再次登录系统在线提交获取采购文件申请，审核成功后自助下载采购文件。

投标流程：

本项目采用电子招投标方式采购。投标供应商必须按相关程序办理数字证书和安装投标文件工具后方可上传递交投标响应文件。详细操作说明见山东大学采购网（www.cgw.sdu.edu.cn）--资料下载--山东大学电子投标指南文件。

发布公告媒介：

本次采购公告在中国政府采购网和山东大学采购网上发布。

四、预算金额：

预算金额：180.****** 万元（人民币）