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产品名称

技术参数

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1

高真空蒸发镀膜仪

真空腔室：真空专用304不锈钢腔室，300×300×H400mm；前开门结构。配内衬防污板。

真空系统：700L/S脂润滑分子泵+6L/S旋片式真空泵组成高真空抽气系统，“一低一高”数

显复合真空计。

真空极限：优于5.0×10^-5Pa；漏率：优于5×10^－8Pa*L/S (国家标准)。

抽速：抽气时间：大气压~7*10^-4Pa小于40min；(氮气破真空)。

基片台：最大可镀基片尺寸：80*80mm；样品台可旋转，高度手动可调。

蒸发源及电源：水冷电极蒸发源3组(其中一支为公共电极)一组金属蒸发源，另外2组为钨丝(或折叠钽舟)＋坩埚有机蒸发源；2KW蒸发电源，数量：1台切换蒸发 。

控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制。

报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施完善的逻辑程序互锁保护系统。

台

1

2

膜厚仪

供电电源：100-120/200-240~，±10%标称50/60 Hz。

功耗：20W。

工作环境：0C至50C，0至80%相对湿度，适合于连续运行。

机架尺寸(高x宽x深)：88.5毫米x 212.7毫米x 196.9毫米

重量：2.7公斤(6磅)

测量传感器数量：2标准, 4附加可选。

传感器频率范围：4.0 MHz至6.0 MHz；参考频率精度：.002%。

膜厚显示分辨率：1 ?。

频率分辨率*：+/- 0.12 Hz (标准), +/- 0.03 Hz (高分辨)。

速率分辨率*：0.60 ?/秒(标准), 0.037 ?/秒(高分辨)。

膜厚分辨率*：0.15 ? (标准), 0.037 ? (高分辨)。

膜系参数：贮存膜系数：99；密度：0.5–99.99克/毫升；系数调整：10–399 %；Z-因素：0.10–10.00；最终膜厚：0.000–99.99仟?；膜厚设点：0.000–99.99仟?；定时设点：0:00–99:59分:秒；取样/保持：0-9999秒。

系统参数：测量周期：.15至2秒；速率分辨：.01/.1 ?/秒；测量筛选：1至20 读值；RS-232波特率：2.4/4.8/9.6/19.2 仟比特/秒。

数字I/O：数字输入：4个（开挡光器、关挡光器、膜厚置零、定时置零）；输入额定值：5伏直流,，无绝缘；继电器输出：4个（挡光器、取样/保持或膜厚设点、双传感器挡光器或定时设点、晶体故障）；继电器额定值：30伏均方根或30伏直流，2安最大。

台

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