外围曝光机招标公告
外围曝光机招标公告
中国电子进出口总公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-12-28在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:友达光电(昆山)有限公司第6代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板(LTPS TFT-LCD)生产线项目所需设备采购
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-154AUOKS0001/166
招标项目名称:第6代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板(LTPS TFT-LCD)生产线项目
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-154AUOKS0001/153 | 功能水清洗機 | 1 | 设备描述:功能水清洗机主要用于玻璃基板於沉膜前功能水清洗。设备要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制 系统采用的执行元件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/154 | 光配向检查机 | 1 | 设备描述:本设备用于Cell制程中,主要功能为自动检测玻璃基板配向角、各向异性、倾斜角(Tilt angle)和膜厚的检查装置。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/155 | 毒性廢氣處理裝置 | 2 | 设备描述:(1) 水力薄膜填充料:水力薄膜填充料是一种结构型及单丝材料交织而成。它的设计具备最大的表面积做质量传递,使得气液分离更容易形成,水力薄膜会产生低压力损失、防止液体停滞在水力薄膜内及削减过度能源的使用。细丝或圆柱体类似阶梯的排列形成双V字型系统,在适合的角度与其他细丝交织,液滴在壹支圆柱体落下几乎立即碰撞到下另外壹支圆柱体,这会制造新的液体表面积做为质量传递之用。(2) 除雾器: 任何水蒸气的液滴会被除雾器所捕捉,这种特殊设计的水气分离器会确保液滴会有良好的去除效率,除雾器是由聚丙烯材质所构成,如果有实际需求,它能够非常容易自箱体内移动,也非常容易清洁。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/156 | 面板研磨機 | 2 | 设备描述:本設備主要用來做玻璃研磨及表面平整度拋光之用途。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/157 | 面板研磨機物流系統 | 1 | 设备描述:本設備主要為提供Polish機台取放片使用的玻璃傳送機構。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/158 | 氧化铟锡溅镀机 | 1 | 设备描述:这个设备是以水平式的ITO溅镀沉积系统,溅射沉积系统包括散热的功能,过程温度低于120℃,最高温度200℃.Substrate装载/卸载通过自动处理系统的功能。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/159 | 氧化铟锡溅镀机搬送设备 | 1 | 设备描述:这个设备是以水平式的ITO溅镀沉积系统,溅射沉积系统包括散热的功能,过程温度低于120℃,最高温度200℃.Substrate装载/卸载通过自动处理系统的功能。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/160 | 药液供给循环再利用系统 | 1 | 设备描述:本设备可自动控制向薄化蚀刻机储存、混合、分配和提供各种化学品,并可回收使用过的化学品以供薄化蚀刻机(KF/NX水平喷射蚀刻机)再次使用;作为支持性设备,招标人已订购该薄化蚀刻机。本设备的功能和优势如下:? 在所有化学品分配和回收模式中均采用全自动化工序;? 能与水平喷射型薄化蚀刻机和回收压滤机完美协调工作;? 对于薄化蚀刻机的化学品混合可达高精度; | 招标文件售价:RMB 5000.00/USD 850.00 |
0714-154AUOKS0001/161 | 工具顯微鏡 | 5 | 设备描述:該顯微鏡具有光學尺可達到座標定位功能並適用產品微觀特性方面的觀察,包括組織狀況,缺陷情況等..,並可以將觀察影像同步在電腦軟體上觀察、編輯。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/162 | 光阻涂布显影设备 | 4 | 设备描述:光阻涂布显影设备,该系统主要用于涂布/ 显影系统的图案生成。 | 招标文件售价:RMB 10000.00/USD 1700.00 |
0714-154AUOKS0001/163 | 快速高温退火机 | 1 | 设备描述:快速高温退火机是一种利用高温修复注入后的晶格损伤,激活杂质离子的设备。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/164 | 透明电极金属溅镀机 | 1 | 设备描述:此透明电极金属溅镀机主要用于溅射氧化铟锡到玻璃基板上。 | 招标文件售价:RMB 5000.00/USD 850.00 |
0714-154AUOKS0001/165 | 超高压微粒子泵 | 11 | 设备描述:设备主要用于阵列、组立及彩膜工程供产生动量大之细微水分子,将动量传送撞击至基板上particle达清洗之效果。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/166 | 外围曝光机 | 2 | 设备描述:本设备用于阵列黄光制程中,曝光后的玻璃基板可于此设备进行基版光阻周边曝光,使得Photo 图形成型后,产品可以完整的曝出基版信息与基版周边光阻可被曝掉。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/167 | 印刷机 | 2 | 设备描述:本设备用于Cell制程中,主要功能为将PI液由APR版转写到基板装置。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 5000.00/USD 850.00 |
0714-154AUOKS0001/168 | 液晶涂布机 | 2 | 设备描述:本设备用于Cell製程中,主要功能为液晶滴下设備。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/169 | 真空组立机 | 2 | 设备描述:本设备用于Cell制程中,主要功能为TFT+CF各一枚玻璃基板在自动对位贴合、抽真空系统、UV照射机构下完成组立制程条件。 该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/170 | 湿式蚀刻机(ITO) | 1 | 设备描述:使用蚀刻药液对涂有Resist图案的基板(ITO、IZO)进行蚀刻,将光阻图案复制(形成线路)到下层膜上。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/171 | CVD制程残气处理机 | 1 | 设备描述:设备主要用于CVD尾气处理工程。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/172 | 氢氧化钠洗涤器 | 2 | 设备描述:本设设备主要处理干蚀刻制程产生之氯气要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/173 | 气体燃烧洗涤器 | 4 | 设备描述:设备主要处理干蚀刻制程产生废气要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/174 | 自动光学检查机?? | 2 | 设备描述:自動化光學檢測機台,利用影像比對找出異常。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/175 | 框膠塗佈機 | 4 | 设备描述:本设备用于Cell制程中,主要功能在玻璃基板上涂布seal 胶完成制程条件。系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行元件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/176 | 去光阻机浓度分析设备 | 1 | 设备描述:设备主要用于监控去光阻机台的药液浓度。设备要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行元件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/177 | 超纯水清洗机(alkaline&brush) | 2 | 设备描述:清洁玻璃基板,去除表面金属物Initial EUV 去除表面有机物Initial清洗剂&氨水去除表面有机物HPMJ&H/M 高压水柱,去除表面金属物设备用途及基本要求:要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态质量,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/178 | 超纯水清洗机 (UPW-1) | 1 | 设备描述:清洁玻璃基板,去除表面金属物HPMJ&H/M 高压水柱,去除表面金属物二氧化碳水,去除玻璃表面静电要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态质量,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。清洁玻璃基板,去除表面金属物,清洗后达到厂内标准。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/179 | 雷射修补机-CF | 1 | 设备描述:用于第6代CF基板的CF缺陷修复。此设备在高世代TFT-LCD制造业有使用实绩,具有一定的市场占有率,且能满足制造出符合要求品质的产品的要求。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/180 | 彩色修补机-CF | 4 | 设备描述:用于第6代CF基板的CF缺陷修复。此设备在高世代TFT-LCD制造业有使用实绩,具有一定的市场占有率,且能满足制造出符合要求品质的产品的要求。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/181 | 彩膜自动光学检测设备 | 2 | 设备描述:本设备主要用于TFT LCD的基板缺陷的检查。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态质量,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高、可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,运行稳定以及售后服务良好。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/182 | 印刷后检查机 | 1 | 设备描述:本设备用于Cell制程中,主要功能为自动检测玻璃基板PI膜缺陷检察(包含Mura)、印刷精度与review检查装置。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/183 | 抽真空除气机 | 1 | 设备描述:这个系统是在单一基板式的真空脱气室脱气,且可以真空8只腔体,同时执行玻璃基板脱气生产运作。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 2000.00/USD 340.00 |
0714-154AUOKS0001/184 | 显影液浓度控制仪 | 4 | 设备描述:本设备主要用于主要用显影液浓度(TMAH ,resist & Carbonate)管理。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/185 | 彩膜清洗机 | 2 | 设备描述:本设备主要用于面板数组/彩膜 TFT 图型制程清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/186 | 真空帮浦 | 91 | 设备描述:设备主要用于腔体抽真空以利制程进行。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 3000.00/USD 500.00 |
0714-154AUOKS0001/187 | 臭氧水产生器 | 2 | 设备描述:臭氧水产生器带有自给系统的水输送系统来保证它能够在一定压力下提供异常高而且精准浓度的臭氧水。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/188 | 测头 | 1 | 设备描述:本设备用于Array 制程中,主要功能为自动检测玻璃基板之Test key 位 置,检查其电性。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/189 | Array 雷射修补机 | 1 | 设备描述:用于第6代Array基板的缺陷修复。此设备在高世代TFT-LCD制造业有使用实绩,具有一定的市场占有率,且能满足制造出符合要求品质的产品的要求。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
0714-154AUOKS0001/190 | 电性量测机 | 1 | 设备描述:本设备用于Array 制程中,主要功能为自动检测玻璃基板之Test key 位置,检查其电性。该设备系统需要设计合理,技术先进,以确保系统良好的动力学性能;该行动控制系统具有精度佳,可靠性高和快速反应的特点;该系统需要方便应用,操作和维护,精细的设备配置,精确的结构,可靠性高和令人满意的售后服务。 | 招标文件售价:RMB 1000.00/USD 170.00 |
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