中北大学磁控溅射镀膜设备招标公告
中北大学磁控溅射镀膜设备招标公告
山西华鑫泰建设项目管理有限公司受中北大学的委托，对中北大学磁控溅射镀膜设备项目组织进行国内公开招标采购，兹邀请合格投标人参加密封投标。
一、项目名称：中北大学磁控溅射镀膜设备项目
二、项目编号：HXTC-2015-0214
三、项目预算：210万元
四、招标内容：
1、本次招标共分一个包，所投包内项目必须完全响应本招标文件内要求。
序号 | 货物名称 | 单位 | 数量 | 主要技术要求 | 备注 |
1 | 磁控溅射镀膜设备 | 台 | 1 | 主要技术要求： 一、设备用途： 该设备主要用于溅射钛(Ti)、铝(Al)、镍(Ni)、金(Au)、铬(Cr)、铂(Pt)等金属单质或合金。 二、设备配置要求： 真空室、自动进样室、抽真空系统、溅射源、加热工件台及系统自动控制模块。 1.真空室 1)至少一个观察窗以无障碍观察所有溅射源和工件盘; 2)衬底的尺寸不小于6英寸，兼顾6英寸、4英寸和2英寸片及碎片; 3)至少有两个进气路，分别由质量流量计控制; 4)两个直流源可分别单独控制三个直流靶枪，功率不小于1000瓦; 5)作业结束可采用液氮放气。 2.自动进样室 一个全自动进样室可传送6英寸、4英寸和2英寸片及碎片; 3.抽真空系统 1)真空获得系统需采用涡轮分子泵加机械泵组合，配有三位插板阀和液氮冷阱; 2)前级管道需安装检漏阀; 3)机械泵前配备过滤器; 4.溅射源 1)三个靶枪均可独立调角度和高度; 2)溅镀方式：由上往下溅射; 3)包含至少一个强磁性靶枪，可用于溅射导磁性材料; 4)每个靶枪各配有一个独立式气动遮板; 5)具备共溅射和多层膜薄膜沉积功能。 5.加热工件台 1)工件台带加热功能，有独立的温度检测系统; 2)基片可旋转，转速0至20转/分钟可调; 3)最高加热温度可达800摄氏度; 6.系统自动控制模块 1)使用计算机和PLC控制，要求带最新的Windows正版软件，制程实现全自动化，并具备远程控制扩展功能，以便实验室的统一管理; 2)软件能以系统图形式显示系统流量，温度，阀门状态，具有编辑，调用，存储及查询等功能; 3)软件具有异常报警功能，并满足手动、自动、维护多种控制模式; 4)软件满足手动、自动、维护多种控制模式，可执行腔体漏率测试，显示并记录测试结果; 5)软件必须是合法、正版的原厂家软件且是最新版本;提供终身免费的维护和及时的免费升级服务。 7、其它 有水、气、电异常报警系统、以及紧急停止系统。 三、技术指标 1.真空性能 1)极限真空(UltimatePressure):5E-7Torr 2)真空抽速：30分钟从大气压抽到5E-6Torr 3)真空室漏率：5E-5Torr.L/s 2.镀膜均匀性和重复性： 在6英寸衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%。 3.溅射速率(保证薄膜均匀性、重复性前提下): Al(铝):≥10?/s;Ti(钛):≥6?/s;Ni(镍):≥5?/s;Au(金):≥11?/s;Pt(铂):≥5?/s;Ge(锗):≥5?/s。 | 进口产品 |
本项目详细内容及要求见招标文件 | |||||
注：上述表格中未特别标注为“进口产品”字样的，均必须采购国产产品。所采购的货物、服务必须符合国家的强制性标准。
2、范围包括：货物的供应、运输、安装、调试、培训和售后服务等。具体报价范围、采购范围及所应达到的具体要求，以本招标文件中商务、技术和服务的相应规定为准。
3、交货时间：签订供货合同后120日历天内将所有货物交付到采购方指定地点并安装调试完毕。
4、交货地点：采购单位指定地点。
五、参与投标的供应商应具备的资格条件：
(1)具有独立承担民事责任的能力;
(2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
(3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力、售后服务能力;
(4)具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;
(5)参加此项采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录。
(6)具备良好的市场信誉;
(7)具有与本项目相关产品的生产或经营许可范围;
(8)要求投标单位具有对外贸易的经营许可范围(对外贸易经营者备案登记表)或与具有对外贸易经营范围(对外贸易经营者备案登记表)的代办单位签订的委托代办协议;
(9)本项目不接受联合体投标;
(10)法律、行政法规规定的其他条件。
六、供应商购买招标文件须携带以下资料：(本项内容要求提供的资料仅作为报名使用，不作为投标单位资格符合要求的条件)
通过有效的：
(1)营业执照副本;
(2)税务登记证(国税、地税)副本;(如营业执照为三合一，此项不做要求)
(3)组织机构代码证副本;(如营业执照为三合一，此项不做要求)
(4)报名截止日前两年内投标单位任意一次纳税凭据和缴纳社会保险金的凭据或社会保险缴纳清单;
(5)如投标人代表是法定代表人，需提供法定代表人身份证;
(6)如投标人代表不是法定代表人，经办人需持有法人授权委托书及经办人身份证。
(以上资料请提供有效原件及加盖投标单位公章的复印件。)
七、招标文件发售
1、发售时间：2015年12月29日至2016年1月5日(法定公休日、法定节假日除外)，每日上午8：30-11：30，下午14：30-17：30(北京时间：下同)。
2、发售地点：山西华鑫泰建设项目管理有限公司(山西省太原市迎泽大街289号天龙大厦八层8003室)
3、招标文件售价：招标文件：人民币伍佰元整￥：500.00元/套;现金购买，售后不退。
4、开户行、账号及联系方式
开户名称：山西华鑫泰建设项目管理有限公司
开户行：中国工商银行太原市万柏林支行
八、开标时间及地点：
投标文件递交截止时间及开标时间：2016年1月21日上午9:00时
开标地点：山西省太原市学院路3号中北大学办公主楼三层322会议室
九、联系方式
采购单位：中北大学
联系人：梁老师
联系电话：****-*******
采购单位纪委办公室电话：****-*******
地址：中北大学(教学主楼510室)
举报邮箱：jw@nuc.edu.cn
采购代理：山西华鑫泰建设项目管理有限公司
地址：山西省太原市迎泽大街289号天龙大厦八层
联系人：李女士、郝女士
联系电话：****-*******
传真：****-*******
公司邮箱：huaxintaishanxi@163.com
监督部门及监督电话：山西省财政厅政府采购管理处****-*******
山西华鑫泰建设项目管理有限公司
2015年12月29日
标签: 磁控溅射
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