上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告1/35
上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告1/35
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2340SHJT0002/27 | EPI厚度量测机台 | 1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2340SHJT0002/28 | 铜OCD量测设备 | 3 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2340SHJT0002/35 | 聚合物去除(铜);聚合物去除(铝);晶圆背面清洗机;晶圆回收清洗-BEOL(铜) | 4;1;2;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2340SHJT0002/38 | 化学品供液系统 | 1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2340SHJT0002/39 | 后道氮氧化硅化学气相沉积机设备;后道等离子氧化硅化学气相沉积机设备 | 1;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
标签: 特色工艺生产
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