一、项目信息

采购人：北京量子信息科学研究院

项目名称：科研仪器设备微纳增质系统

拟采购的货物或者服务的说明：

微纳增质系统1套

拟采购的货物或服务的预算金额：490.****** 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

为支持研发量子计算芯片，北京量子信息科学研究院计划采购1套微纳增质系统用于支持制备超导器件、超导-半导体异质结、超导-拓扑材料异质结等结构，其中关键的步骤就是沉积超导薄膜并保证高质量界面，因此薄膜的均匀性要求极高。具体需求：沉积膜厚均匀性波动≤ ±2.0%@ 2英寸基片；腔室极限真空度≤ 9x10^-9 Torr；独立的预真空进样室配备涡轮分子泵组，极限真空度≤ 2x10^-6 Torr；腔室配置至少3个3英寸靶枪，所有靶枪均配备独立的气动挡板和套筒，防止靶材交叉污染。

根据全球调研，阿洛斯英公司生产的微纳增质系统沉积膜厚均匀性波动可达到±2.0%@ 2英寸基片，满足需求。能达到这个均匀性要求主要是因为阿洛斯英公司拥有独家技术，具有独特的“模块化磁体阵列”与冷却水完全隔离，以消除磁体退化和随后的溅射源功能退化。这种技术很好防护磁体内部，并允许相同的源可以用于所有靶材材料以及工作模式。调研中发现，美国公司和以色列公司的产品薄膜沉积均匀性波动可以做到±5%@ 6英寸基片、±3%@ 2英寸基片，但不满足需求。

综上所述，目前市面上只有阿洛斯英公司生产的微纳增质制备系统能满足需求。西安爱姆加半导体有限公司是阿洛斯英公司在中国大陆独家代理公司，因此特申请单一来源方式采购。

二、拟定供应商信息

名称：西安爱姆加半导体有限公司

地址：陕西省西咸新区空港新城昭容南街8号中南高科西安临空产业港7号楼2单元

三、公示期限

2023年10月09日 至 2023年10月16日

四、其他补充事宜：

专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。

由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。

本公示在中国政府采购网发布。

五、联系方式

1.采购人

联系人：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-******** 转 8052　　　　　　

2.财政部门

联系人：北京市财政局采购处

联系地址：北京市通州区承安路3号

联系电话：010-********

3.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，158*****673