一、项目信息

采购人：北京量子信息科学研究院

项目名称：科研仪器设备双角度蒸发系统

拟采购的货物或者服务的说明：

双角度蒸发系统1套

拟采购的货物或服务的预算金额：860.****** 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

北京量子信息科学研究院计划采购1套双角度蒸发系统支持研发量子计算芯片。具体需求：样品尺寸不小于4英寸，进样室极限真空优于5x10^-7 Torr，中转腔极限真空优于5x10^-9 Torr，沉积室极限真空优于5x10^-9 Torr，氧化室极限真空优于5x10^-10Torr，电子枪功率≥ 6 kW且沉积均匀性优于2%，膜厚仪闭环控制，全自动进样及工艺控制，适用双倾角工艺。

经全球调研，目前市面上只有Adnanotek Corporation生产的双角度蒸发系统拥有独有专利技术，可实现在双角度下的样品均匀性达到2%，是唯一能实现这个指标的机型，而合肥铠柏科技有限公司是厂家在中国大陆独家代理，因此特申请单一来源方式采购所需的双角度蒸发系统。

二、拟定供应商信息

名称：合肥铠柏科技有限公司

地址：安徽省合肥市高新区创新大道1858号瀚海创谷创业园101室

三、公示期限

2023年10月09日 至 2023年10月16日

四、其他补充事宜：

专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。

由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。

本公示在中国政府采购网发布。

五、联系方式

1.采购人

联系人：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-******** 转 8052　　　　　　

2.财政部门

联系人：北京市财政局采购处

联系地址：北京市通州区承安路3号

联系电话：010-********

3.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，158*****673