东北师范大学物理学院超高分辨场发射扫描电子显微镜（进口）设备采购项目，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定已报请财政部备案，采用单一来源方式采购。

一、项目信息

采购人：东北师范大学

项目名称：东北师范大学物理学院超高分辨场发射扫描电子显微镜（进口）设备采购

项目编号： ZZ*****HW********

拟采购的货物或服务的说明：超高分辨场发射扫描电子显微镜，数量：1套

拟采购的货物或服务的预算金额：53.3348万美元（人民币限额：390万元）　

采用单一来源采购方式的原因及说明：

场发射扫描电子显微镜通常用于观察各类材料的表面微观形貌、颗粒物尺寸测量、厚度测量、异物成分分析等，同时还能兼顾精细化样品的形貌表征及分析、测定纳米级颗粒的尺寸、测量纳米级镀膜的厚度；金属样品的失效分析、断面分析、石墨烯等材料的片状厚度观察、半导体材料及器件的观察分析、陶瓷粉体及成品的分析等。
场发射扫描电子显微镜作为科研工作中重要的表征设备，不仅能够用于物理、化学、生物、材料、环境等传统学科，又可用于能源、纳米等新兴科研领域，这些应用能够为我校的科研发展提供坚实技术支撑。
本次采购的场发射扫描电子显微镜，主要用于观察物理科学研究中不同类型样品，如半导体膜材料、半导体器件、复合材料、硅片等。半导体材料具有不耐电子束照射的特性，其电镜观察结果通常又要求得到高分辨图，并不能损坏测试样品。在此前提下，就要求观察设备应在低电压条件下具有优异的高分辨成像性能（1KV电压下分辨率小于1nm），同时能在减速模式下实现超低着陆电压成像，能够对电子束敏感样品的形貌进行长时间观察，且应有良好的自动化功能。
经调研，国内电镜制造商目前1KV电压下分辨率最高只能达到1.5nm，无法做到1nm以下，无法满足我们本次超高分辨的基本要求，故没有考虑。进口品牌调研方面，热场电镜产品的分辨率可达到要求，且束流较大，但其电子枪能量为1-0.7eV；电子源大小为15-30nm，电子枪亮度为5x108 A/cm2sr，在实现高分辨率的前提下，无法保证样品在测试过程中不被损坏，可能会导致测试结果无法重复，对后续的科研工作造成较大影响，无法完全满足测试需求。日立公司生产的场发射扫描电子显微镜SU8600采用冷场发射电子枪，SE分辨率 15KV优于（≤）0.6nm (工作距离4mm)、SE分辨率 1KV优于（≤）0.7nm （工作距离1.5mm）、电子枪亮度≥2x109 A/cm2sr，提高了发射源亮度的同时，电子枪能量≤0.2eV、电子源大小≤5nm，非常适合半导体样品观察测试，可完全满足需求，同时该产品具有自动聚焦+自动亮度对比度+自动消像散+自动电子束对中+自动光阑对中+自动像散调节等强大的自动化功能，可进一步提升测试效率，为科研工作提供更多便利。但目前日立是全球电镜市场中唯一能够提供冷场发射扫描电子显微镜的生产厂商，可实现从设备购置、技术咨询、售后服务到应用支持等方面的服务，其他厂商无法做到，具有唯一性。故只能采用单一来源采购方式进行采购。

二、拟定供应商信息

供应商名称：吉林省厚德仪器有限责任公司

地 址：长春市朝阳区牡丹胡同2号207室

三、协商时间及地点：2023年10月19日9时00分、长春市二道区东南湖大路3030号，中资国际工程咨询集团有限责任公司一楼开标室。

1. 其他补充事宜：

2. 本次公告同时在中国政府采购网及东北师范大学政府采购与招标管理中心网发布。

3. 参与本次采购活动的供应商须知悉并执行《东北师范大学采购供应商管理办法(2023年修订）》的规定，可登录东北师范大学政府采购与招标管理中心网站自行下载阅读。

4. 凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系

1.采购人：东北师范大学

联系地址：吉林省长春市人民大街5268号

联系人：陈老师

联系电话：0431-********

技术联系人：王老师

联系电话：135*****501

2.采购代理机构：中资国际工程咨询集团有限责任公司

联系地址：长春市二道区东南湖大路3030号

联系人：陈东

联系电话：0431-********