中国地质大学（武汉）采购与招标管理中心受学校委托，以公开招标的方式进行此次采购，其采购资金列入学校采购计划并已经落实，欢迎符合资格条件的供应商参加投标。
一、招标项目名称：原子层沉积设备
二、招标文件编号：********
三、采购内容：采购国产原子层沉积设备1套，采购预算金额为人民币45万元。要求如下：
（一）技术要求（加注*号条款为必须满足项，不得有负偏离，否则投标将会被否决）：
1、反应腔体：最大可放置 6 英寸样品；基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃。腔体烘烤温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。反应腔内具有可拆卸更换挡板；
*2、前驱体源输运系统：共6路前驱体源，1路为常温源，可接水和臭氧/氨气/H2S等气体；5路为加热源，加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。加热源配备耐高温手动阀，前驱体源瓶体积不低于50cc；
3、ALD阀：每一路前驱体配置一个专用高速高温ALD阀。ALD阀最小脉冲时间不高于10 msec；管路腔体须具有"自动清洗"的功能；
4、配置高浓度臭氧发生器，包括管路阀门，裂解器附件；最高产量>7g/h；
*5、工艺要求：要求Al2O3生长速率为每单次循环生长厚度1.2A，均匀性保证优于+/- 1%；生长温度120℃；200℃；250℃；300℃分别所对应的单次循环时间须低于40秒；15秒；10秒；6秒。
*6、验收指标：厂家须提供标准的工艺配方，按以下内容现场制备与验收：
在6英寸基片上沉积Al2O3 均匀性 ≤+/-1%；在6英寸基片上沉积100nm，取5个不同点（上、下、左、右、中心）进行测试，计算厚度标准偏差≤1%；在保证以上薄膜质量的前提下，前驱体的脉冲时间不得超过0.02秒。
四、投标人必须符合下列要求：
1. 投标人应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件：
（1）具有独立承担民事责任的能力；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（6）法律、行政法规规定的其他条件。
2. 本项目不接受联合体投标。
3. 投标人必须是所投货物的制造商、或者是取得主要设备的制造商授权的代理商。
五、报名及获取招标文件：
　　1、时间：2016年1月6日至 2016年1月13日；工作日上午8:30～11:00，下午14:30～16:30接受报名；周五下午、节假日及其他时间不接受报名。
　　2、地点：中国地质大学（武汉）采购与招标管理中心　　　
　　3、报名时须提供以下证明文件（复印件需加盖公章）：
　（1）公司营业执照原件及复印件；
　（2）公司税务登记证原件及复印件；
　（3）组织机构代码证原件及复印件；
　（4）法人授权委托书原件；
　（5）法定代表人身份证（二代证）复印件；
　（6）被授权人身份证（二代证）原件及复印件；
　　4、报名时收取报名及招标文件制作费人民币200元，售后不退。
六、投标文件递交及开标
　　1、投标截止及开标时间：2016年01月26日下午14：30整。
　　2、投标文件递交和开标地点：武汉市洪山区鲁磨路388号 中国地质大学（武汉）东区设备楼2楼206招标评标会议室。
七、联系方式：
　　　采购与招标管理中心联系人：李明娟　联系电话：027－********
　　　电子邮件：ztb@cug.edu.cn　传真：027－********
　　　技术联系人：贺贝贝 联系电话：135*****446

　　　　　　　　　　　　　　　中国地质大学（武汉）采购与招标管理中心
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2016 年 01 月 06 日