飞秒激光微纳加工系统意向招标公告
飞秒激光微纳加工系统意向招标公告
为便于供应商了解采购信息，根据《物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规定，现将的采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 需求概况 | 初步技术参数 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 飞秒激光微纳加工系统 | 采购内容：拟采购飞秒激光微纳加工系统 1套。 采购数量：1套 主要功能或目标：飞秒激光微纳加工系统具备高精度材料加工与微纳光子器件制备功能。 需满足的要求：飞秒激光微纳加工系统适用于光学透明材料、半导体及金属等材料的高精度加工，可实现衍射光学元件、光波导、超构表面等微纳光子器件制备。该系统包括飞秒激光器一台和微纳加工平台一套。加工时最小脉宽≤290 fs，平均功率≥10W；加工行程X/Y轴方向≥100 mm，Z轴方向≥60 mm；XYZ三轴定位精度≤±350nm。 | 各部分具体技术指标如下： 1.飞秒激光器 ① 中心波长：1030nm±10nm； ② 最大平均功率：≥10W； ③ 最小脉冲宽度：≤290fs； ④ 脉冲宽度调谐范围：≤290fs-10ps； ⑤ 最大单脉冲能量：≥200μJ； ⑥ 脉冲重复频率：1Hz-1MHz可调； ⑦ 功率稳定性：<0.5%rms@100h； ⑧ 光束指向稳定性：<20μrad/?C； ⑨ 光束质量：TEM00模；M2<1.2； ⑩ 内置二倍频模块一个，与基频光源同步输出，最大转换效率：≥50%； 2.微纳加工平台 2.1 加工位移台模块： ① X/Y轴为精密气浮平台，Z轴为精密气浮平台外加高精度压电位移台； ② X/Y/Z三轴行程：≥100mm×100mm×60mm； ③ X/Y/Z轴定位精度：≤±350nm； ④ X/Y/Z轴双向重复精度：≤±100nm； ⑤ 最大位移速度：≥100mm/s（X/Y轴），≥50mm/s（Z轴）； ⑥ Z轴高精度压电位移台行程：≥250μm； ⑦ Z轴高精度压电位移台闭环分辨率：≤5nm。 2.2 信号控制模块： ① 驱动器：高速光纤通讯接口，支持三轴位置同步输出功能； ② 运动控制软件：多轴软件控制器，支持三轴直线、螺旋线联动插补。 2.3 光路模块： ① 包含功率控制模块、偏振控制模块、扩束模块、光束传输和整形模块； ② 功率控制模块：波长适用1030nm，电动衰减器调节方式，功率调节范围5%-95%； ③ 偏振控制模块：含二分之一波片，支持电动偏振调节； ④ 扩束模块：波长适用1030nm，放大倍率≥2倍； ⑤ 光束传输和整形模块：由反射镜、分束镜、透镜、四分之一波片、二向色镜等光学元件组成。分为两路：第一路，1030nm经物镜聚焦加工，支持EOM快速调节偏振。第二路，1030nm经4f系统+空间光调制器+物镜聚焦加工，支持光束整形功能。 2.4 机器视觉模块： ① 相机像素：≥500万； ② 照明方式：底部+同轴LED； ③ 含实时探测模块，具备加工过程实时可视化、自动聚焦等软件功能。 2.5 显微模块： ① 1个20X、0.4NA长工作距离物镜（1030、515nm共用）； ② 1个0.23NA非球面镜（适用1030nm）。 2.6 高速扫描振镜： ① 波长：1064nm（兼容1030nm）； ② 分辨率：16bit； ③ 光孔径：10mm。 | 430.00 | 2023年11月 | 其他所需满足的技术参数包括： 2.7 偏振快速控制模块： ① 包含电光调制器及高压驱动1套，数字模拟转换器1台，偏振测量仪1台； ② 电光调制器工作波长：1030±5nm； ③ 电光调制器通光孔径：≥6mm。 2.8 软件控制模块： ① 电控硬件调节：包括激光器参数控制、快速偏振调节、三轴加工平台控制、机器视觉系统调控等，具备联动同步控制功能； ② 三维激光加工软件：支持二维和三维加工，支持三轴位置同步输出，支持DWG，DXF，PLT，STL，BMP等文件格式导入。 2.9 安全防护模块： ① 外保护框架结构一套； ② 具备安全防护罩、带观察窗、具备应急急停按钮。 2.10 真空吸附样品台： ① 台面尺寸：≥50x50mm； ② 具备倾角调平功能； ③ 具备光纤夹持功能。 2.11 其它： ① 系统采用大理石龙门架结构； ② 配备吹扫装置； ③ 配备工具箱和防护眼镜等配件。 |
注：1.本次意向公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；
2.供应商可以通过采购平台反馈参与意向和意见建议。
联系人：刘老师
联系方式：186*****860
标签: 采购意向
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