高真空氧化物纳米薄膜沉积系统竞价公告
高真空氧化物纳米薄膜沉积系统竞价公告
| 项目名称 | 高真空氧化物纳米薄膜沉积系统 | 项目编号 | TYUSTJJCG2023-084 |
| 项目编号 | TYUSTJJCG2023-084 | ||
| 公告发布日期 | 2023/10/26 15:52 | 公告截止日期 | 2023/10/31 15:52 |
| 公告截止日期 | 2023/10/31 15:52 | ||
| 采购单位 | 太原科技大学 | 是否本地化服务 | 否 |
| 是否本地化服务 | 否 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 采购预算 | ￥298,000.00 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 送货/施工/服务期限 | 120天 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 太原市窊流路66号 太原科技大学实验楼 216 | ||
| 付款条款 | 乙方在本合同签订后7-10日内向甲方支付合同金额5%的履约保证金，并向甲方开具合同金额50%的预付款保函（保函内容需经甲方确认）。甲方收到履约保证金和预付款保函后15日内一次性将合同总金额预付到乙方账户。货物交付并经甲方验收合格后，甲方返还乙方预付款保函，且履约保证金转为质量保证金，质量保证金在货物经甲方验收合格3个月后无息退还。 | ||
| 其他说明 | |||
| 采购内容 | 数量单位 | 售后服务 | ||
| 高真空氧化物纳米薄膜沉积系统 | 1(套) | 1、交货时完整的技术资料和设备总图。 2、保修期1年，保修期完后，继续负责有偿维修。 3、如果设备出现故障，响应时间不超过24小时；若需要到现场处理，72小时维修工程师到现场处理。 | ||
| 是否进口 | 否 | |||
| 参考品牌及型号 | 不限定品牌型号 | |||
| 技术参数要求 | 系统组成和性能指标要求如下： 1、溅射真空室组件1套 球型真空室尺寸Ф450mm，优质不锈钢制造，氩弧焊接，表面抛光处理，接口采用金属垫圈或氟橡胶圈密封； 真空室极限真空度：≤6.67*10-5 Pa； 系统真空检漏漏率：≤5.0*10-7 Pa.l/S； 系统20分钟可抽到5*10-3 Pa； 激光入射口距离地面1200mm； 真空室焊有各规格的法兰接口≥20个 2、旋转靶台组件 1套 可同时装四块靶材，尺寸：（i）Φ60mm和（ii）Φ25mm； 每块靶材自转，转速5～60转/分，电机控制； 靶位公转换位机构，电机控制； 靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽； 3、抗氧化基片加热台组件1套 基片尺寸：可放置φ2″基片； 基片加热最高温度800±1℃； 基片可连续回转，转速5～60转/分； 基片与靶台距离30～90mm可调； 手动挡板：1套； 样品托：2个； 4、窗口及法兰接口部件1套 带窗活开门：1套； 各类玻璃窗口3块； 陶瓷封接引线法兰：1套； 各类盲法兰≥5个； 单芯陶瓷封接引线法兰：1个； 室内进气法兰接管：1套 5、工作气路2路 质量流量控制器、充气阀、管路、接头等：2路； 充气阀、管路、接头等1路； 6、抽气机组及阀门、管道1套 复合分子泵及变频控制电源、直联机械泵与电磁压差阀各1台 分子泵与机械泵软联接金属软管：1套； 旁抽管路2套、电磁隔断阀及角阀2套； 闸板阀：1台； 7、安装机台架组件1套 方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；台面用不锈钢蒙皮装饰，可固定，可移动； 8、真空测量系统1套 电源机柜：1台； 控制电源：1台； 样品加热控温电源：1套； 电机旋转电源：3套； 加热烘烤及照明电源：1套； 宽量程数显真空计：1套； 9、电控系统1套 质量流量显示器：2套； 激光扫描与分子泵控制电源各1套； 10、控制软件系统1套 公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫描等内容均由软件自动控制； 11、制冷系统 温度设置范围：5℃到40℃ 温度稳定性：+/-0.1℃ 12、备件 所需备件种类及数量见附件。 | |||
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