采购项目名称：探针测试台
采购单位：北京市海淀区清华大学集成电路学院
付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后7个工作日内
交货地址：北京市海淀区清华大学集成电路学院
技术参数及配置要求：探针台包括探针测试台台体、显微镜、CCD成像系统、探针座、三轴夹具、探针、针卡夹具、真空泵、防震桌、压缩机等装置，赠送运费和保险，提供原厂售后工程师现场安装调试与培训服务，质保36个月，免费移机一次，且满足以下参数要求。 1.探针测试台台体 ?尺寸：约800mmL*580mmW*680mmH，重量大约95kg ?O型平台镀镍设计，增大了针座的加载空间，且提高了针座平台和针座之间的吸附力（可以至少放置10个探针座） ?Chuck X/Y轴丝杆采用双螺母防回程差设计,带防尘盖以保护丝杆持久顺畅 ?Chuck行程：8英寸*8英寸，精度10um ?Chuck X/Y轴移动可以360度快速移动以应对不同工作场景，提高测试效率 ?Chuck大小：8英寸，中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制 ?Chuck可以上下快速升降5mm，便于样品快速分离探针。chuck微调升降，行程6mm，精度1微米，方便使用探针卡时扎针。（大波轮+摇杆设计） ?Chuck镀金，具备更小的接触电阻 ?卡盘的旋转角度：360度，调节精度0.1°（带刻度尺和角度锁死装置） ?卡盘电学独立悬空，带两个4mm香蕉头插口，成180度对角设计，可以作为背电极方便测试垂直器件 ?高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2英寸，精度1um，带显示器支架 ?显微镜气动升降50.8mm，便于更换物镜(需要压缩空气)/显微镜快速倾仰，便于更换物镜，带重力自动锁定功能（匹配金相显微镜时使用） ?探针平台可以快速升降，可选择5mm和250um 两档 ?探针平台可以上下微调，行程25mm，升降精度1μm ?探针平台升降调节功能可加装探针卡，便于针卡重新定位，快速切换芯片测试 ?带接地端子，有效防止静电对测试的影响 ?探针台与显示器一体化设计，减小设备的占地空间 2.显微镜 ?Motic高解析度长工作距离显微镜，可加载激光 ?变焦 1X~2X ?目镜: 10X，?双目距调节范围52-75mm ?物镜：5X (WD：34mm，NA:0.14),10 X (WD ：33.5mm，NA:0.28),20 X (WD ：20mm，NA:0.42) ?显微镜光学放大倍数=目镜*物镜*变焦倍率，倍率范围：50X~400X（更换其它物镜可使倍率范围更广） ?CCD接口,CCD接口形式为C Mount形式 ?手动物镜切换鼻轮（四孔） ?显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1微米 ?150W独立照明光源，亮度可以无极调节。 ?防静电功能：架台，变倍镜筒，10X目镜，辅助物镜等都具有防静电功能，这个功能在观察需要防静电的样品时（如半导体芯片等）很有用（若使用此功能时，可通过架台后面的地线插口将显微镜接地） ?密封功能：变倍镜筒，10X目镜都具有密封功能，当显微镜在油汽，水汽等湿度较高的环境中仍能较方便的使用 ?创建性人机学设计，更加保证操作者长时间舒适操作具有高清晰度，大视场，长工作距离等特点，广泛应用与教学示 范，生物工程，IT产业检测等领域 3.CCD成像系统 ?HDMI接口高清（200万像素）CCD ?1/2.8英寸 SONY CCD ?分辨率达到1920*1080 ?帧率60fps ?具备U盘接口 ?内置长度测量软件 ?带HDMI视频线缆，带显示器 ?带U盘一个，usb3.0,接口，FAT32格式 4.探针座 ?精密丝杠+圆珠滚子导轨 ?X/Y/Z行程：13mm，精度：1μm ?高刚性结构，弹簧消隙 X-Y-Z，稳定无间隙 ?吸附形式：N52等级强磁吸附底座，开关 ON/OFF ?应用：可搭配同轴/三轴夹具/开尔文/射频调节机构使用 主要特点：丝杆传动，手感顺畅，具备防呆设计 5.三轴夹具 ? ±20v 电压下漏电精度能达100FA ?线长1.5米，三轴公接口 ?叁轴设计，带Force，Guard和Ground ?Z字形设计，使用金相显微镜时可有效防止与物镜的干涉 ?采用Trompeter 高屏蔽三同轴电缆TRC-50-1 ?机械式锁定探针，不易松动，不锈钢设计刚性强 ?黄铜镀金工艺做无磁化处理 ?带安装探针专用一字螺丝刀 6.探针 ?2微米针尖直径的探针，5PC/BOX 7.针卡夹具 4.5英寸标准针卡夹具 ?可精细调节针卡与wafer的水平和角度一致性 8.真空泵 静音无油真空泵7 升/分钟 ?到达真空度:-33.3kPa（ -250mmHg） ?用于吸附样品 9.防震桌 尺寸: 适配探针台尺寸 ?气浮式防震机构 ?带脚杯和脚轮 ?带标准光学蜂窝板 ?独立于防震桌设计，减小开关屏蔽箱时对测试的影响 10.压缩机 ?重量:25千克左右 ?尺寸: 41cm长*41cm宽*55cm高 ?噪声：51dB ?给防震桌和显微镜气动升降提供合适气压
质保期：36个月
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