关于内蒙古大学等离子清洗刻蚀系统网上竞价公告
关于内蒙古大学等离子清洗刻蚀系统网上竞价公告
| 项目名称 | 等离子清洗刻蚀系统 | 项目编号 | JJ****** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 169*****67000 | 公告截止日期 | 169*****00000 |
| 采购单位 | 内蒙古大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后5个工作日内 | 到货时间要求 | 签订合同后30个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 内蒙古大学南校区化学化工学院517 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 等离子清洗刻蚀系统 | 1 | 台 | 催化剂原料生产装置 |
| 品牌 | 三和波达 |
|---|---|
| 型号 | PT-5MZ |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 腔体材质：石英耐热玻璃供电电源：AC220 V工作电流：整机工作电流不大于 1.2 A(不含真空泵)电源功率： 0-600 W 旋钮可调（独立电源，带功率显示和反射显示精确到1 W，手自一体机）频率：13.56 MHz（偏移量小于 0.2 KHz） 频率偏移量：小于 0.2 KHz特性阻抗：50 欧姆，自动匹配真空度：1 Pa-100 Pa（内置真空计，屏幕内显示真空）气体路数：双路气体输入气体流量：10—300 ml/min（电子流量计输入调节）过程控制：PLC 人机界面自动与手动方式清洗时间：1-9999 秒钟可调功率大小：10%-100%可调内腔尺寸：φ150×270 mm直径×深度 外形尺寸： 650×600×750 mm 长×宽×宽（定制机外形尺寸以实际为准）重量：90 Kg真空泵：纪维干泵 GWSP-75真空室温度：小于 65 °C冷却方式：强制风冷交货标准：等离子主机PT-5MZ ×1套真空腔体：石英耐热玻璃φ150×270mm ×1套射频源：KVMEN 13.56MHz0-600W ×1套触摸屏：Samkoon EA-043A 4.7寸×1套PLC：日本松下FP0R-C16T ×1套电子流量计：七星华创DC7-26C （300cc）×2套真空计（内置）：睿宝真空计×1套干泵：纪维GWSP-75×1套波纹管：KF25纯不锈钢 1.2m×1套密封圈及卡箍：KF25×2套外部进气管接头：6转8 ×2套 |
| 售后服务 | 技术支持:7x24小时;售后服务:一年;服务响应时限:报修后2小时;质保期:两年;培训要求:培训一次;是否含税:国产含税; |
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