杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院关于无掩膜激光直写光刻机的允许采购进口产品论证公示

一、采购人名称：杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院

二、进口产品公示编号：/

三、采购项目名称：无掩膜激光直写光刻机

四、采购组织类型：/

五、采购项目概况：

标的名称：无掩膜激光直写光刻机

预算金额(元)：*******

货物或服务的说明:详见附件

六、符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：/

七、申请理由：

目前国内产品直写分辨率标准为2.5μm，激光直写速率为250mm2/min，且无重要指标特征尺寸均匀性数据；

而进口产品直写分辨率不低于0.6μm，曝光速度不小于285mm2/min，最小网格位址小于100nm，载物台位移精度小于20nm。透过使用不同分辨率的集成摄像头，可在短时间内完成多层应用中的套刻对位，套刻对准精度优于500nm。

综述所述，进口激光直写设备易于使用、性能稳定还有极快的曝光速度。国内产品无法同时满足以上需求，并不满足目前实验室科研的需求。

（一）拟采购的进口设备符合《政府采购进口产品管理办法》（财库【2007】119号）第三条以及《关于政府采购进口产品管理有关问题的通知》（财办库【2008】248号）二、三的认定情形。

（二）该设备未列入商务部《限制进口机电产品目录》和《中国禁止进口限制进口技术目录》。

（三）根据市场调研，国产激光直写光刻机尚处于更新研发阶段，曝光能量不稳定，线宽均匀性和套刻精度对比进口设备性能相差很多，而且存在诸多的不稳定因素，不满足采购单位的需要。该设备属于国家的非限制进口仪器设备，符合国家相关进口产品的法律规定，建议该项目采购进口设备。

八、论证专业人员信息及意见：详见附件

九、其它事项：

1、本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日），以书面形式向采购人提出异议。

十、联系方式：

采购人名称：杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院

联系人：伏玮

联系电话：177*****332

附件信息:

• 进口论证-无掩膜激光直写光刻机.pdf

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