分子泵及罗兹泵招标公告

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1、涡轮分子泵,入口法兰DN160 CF-F,出口法兰DN25 ISO-KF,抽速:655 L/S(氮气);655 L/S(氦气);555 L/S(氢气); 极限真空 5*10-10mbar,带远程控制,12米通讯线,水平安装;数量2台。

2、多级罗茨泵,入口法兰DN25,出口法兰DN16,最大抽速 14m3/h,最大真空5*10-2mbar,最大氦气泄漏率<5*10-7 mbar l/s,电源单相220V;数量2台。

3、以上设备需具有半导体行业应用经验;

4、联系人杨先生,电话138*****295



联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 分子

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