激光刻蚀二次电子发射抑制仿真网上竞价公告
激光刻蚀二次电子发射抑制仿真网上竞价公告
采购项目信息
| 项目名称 | 激光刻蚀二次电子发射抑制仿真 | 项目编号 | B********** |
| 开始时间 | 2023-11-17 17:02:12 | 截止时间 | 2023-11-22 17:02:12 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额(元) | ******.0 |
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 激光刻蚀二次电子发射抑制仿真 | 1 | 次 | ******.00 | |||
| 技术参数 | 研究在刻槽情况下的二次电子发射系数仿真方法（刻槽部分按真空处理） 2.针对铜、聚酰亚胺两种材料，仿真在至少两种刻槽形式下的二次电子发射系数。 3.针对每种刻槽形式，研究刻槽尺寸参数对二次电子发射系数的影响（每组刻槽形式不少于7组参数组合）。 4.可模拟的入射电子能量覆盖40eV~5000eV（具体仿真取值点与甲方协商） 5.提供仿真的相关数据、模型、结果及报告 | ||||||
| 相关材料 | |||||||
武汉大学采购与招投标管理中心
2023-11-17 17:02:09
标签: 刻蚀
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