蒸镀设备
蒸镀设备
| 项目编号 | BA********* | 项目名称 | OLED蒸镀设备 |
|---|---|---|---|
| 经办人单位 | 化学学院 | 经办人 | 李成龙 |
| 预算金额 | ******.00 人民币 | 成交金额 | ******.00 人民币 |
| 成交供应商 | 沈阳奇汇光电科技有限公司 | 质保期 | 12 月 |
| 联系地址 | 辽宁省-沈阳市-沈北新区蒲文路16-69号（101）201室 | 采购单位 | 吉林大学化学学院 |
| 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
| 供应商联系手机 | 133*****661 | 交货时间 | 成交单签订后135天内交货 |
| 交货地址 | 吉林省-长春市-前进大街2699号吉林大学中心校区超分子楼B218 | ||
| 交货方式 | 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 包装及运费 | 由乙方免费提供及承担 | ||
| 验收方式 | 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 售后服务要求 | 1. 设备调试人员上门安装，免费培训。 2. 售后服务及时。 3. 保修期1年。 4. 对于质保期以外设备的维护，我公司将继续提供优质、价廉、及时的售后服务,终身维护。 | ||
| 采购材料 | 自主采购评审报告.pdf | ||
| 采购品目 | 其他电工、电子专用生产设备 | 品牌名称 | 奇汇 |
|---|---|---|---|
| 名称 | OLE蒸镀设备 | 产地及生产商 | 中国-沈阳奇汇光电科技有限公司 |
| 规格型号 | QHV-R168 | 数量 | 1 |
| 计量单位 | 台 | 保修年限 | 1 年 |
| 单价 | ******.00 人民币 | 总价 | ******.00 人民币 |
| 主要技术参数 | 序号 项 目 说 明 1. 极限真空 2×10-5Pa（新设备） 2. 漏 率 ≤6.7×10-8Pa·L/S 3. 工作真空 5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于15分钟（新设备,经过有机/金属源烘烤后充干燥N2） 4. 系统保压 系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。 5. 样品尺寸 32×32mm. 6. 样品架结构 自动掩膜圆盘样品架。5样品。 7. 样品架 0~30转/分。 8. 样品架与源表面距离 340mm固定 9. 蒸发源 有机蒸发源×10只，加热400度； 金属蒸发源×2只。可加200A;整圆周分布。 10. 蒸发源挡板 有机蒸发源挡板×10套，电动旋转 金属蒸发源挡板×2套，电动旋转。 11. 真空室开腔形式 手动前大开门结构 12. 膜厚探头 4套。（样品架中心弯管安装一套水冷探头，侧壁安装三套。国产） 13. 真空计 冷规方式。 14. 抽真空方式 电动+气动，自动抽取真空，程序控制。 15. 膜厚及均一性 100nm≤±5%。 16. 控制方式 可控制金属蒸发电源、有机蒸发电源、膜厚仪 17. 对接口 可对接手套箱。 18. 蒸发方式 金属蒸镀闭环速率反馈蒸镀，有机源功率控制，温度控制方式。 19. 蒸发电源 有机蒸发电源×3套。（每套二带四） 金属蒸发电源×1套。 20. 电控 大触摸屏+PLC控制。 21. 内部烘烤： 无烘烤。 22. 膜厚不均匀性和重复性 ≤±3%（基片中心10mm×10mm范围内）。 | ||
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