一、项目名称：有机-金属真空热蒸镀系统

二、项目编号：S*******

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-********，********

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：高老师　　　　电话：189*****652

电子邮箱：gaoxu@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

有机-金属真空热蒸镀系统　　1套

（一）主要技术参数要求

1.总体要求

1.1设备总长不超过1.5米。

1.2一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动；

1.3机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动，也可撑起地脚固定住设备。

2.样品台

2.1标准的样品盘可以容纳120mm×120mm的基片托盘。基片盘通循环水冷却，可对基片加热，到蒸发源距离35cm。

2.2基片盘可旋转，旋转速度0～60转/分可调；

2.3基片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。蒸镀图案边缘宽度误差小于0.1mm。

2.4样片旋转采用磁流体密封，保证密封可靠；

3. 蒸发源

3.1 共3组束源和3组舟源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。

3.2蒸发电源配备1套低电压大电流的TDK-lambda电源（1.5Kw GEN8-180），1套低电压大电流的TDK-lambda电源（0.6 kW Z20-30）。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具有二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。

4. 膜厚测量系统

4.1 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度

4.2 膜厚仪速率测量显示精度优于0.01 ?/s，厚度精度0.1 ?。带有WINDOWS操作软件，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。

4.3 膜厚晶振探头2个，误差 0.01 ?/s。

5. 蒸发腔体

5.1 腔体由SUS304制作，其内部尺寸约为380 mm×380 mm×540 mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及真空泵、样品盘等装置；

5.2配置前后二个可完全打开的门，前门与后门均是推拉门，用于连接手套箱，便于维护清理；

5.3 腔体内表面采用电解抛光处理；

5.4 腔体漏率：整体漏率优于1×10-10Pa×m3/s，保压12小时，压强小于5 Pa;

6. 蒸镀真空系统

6.1极限真空优于：3.5×10-5Pa；

6.2 分子泵抽速不低于700L/S；

6.3 前级泵抽速不低于16 m3/h；

6.4 气动高真空插板阀，通径大于等于150mm，可使用不少于100,000次；

6.5 带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具备互锁保护功能，防止误操作；

7. 蒸镀软件控制系统

7.1 采用PLC，工控机控制；

7.2 真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭。

7.3 带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温。也可手动输入控制数据。

8. 手套箱系统

8.1 手套箱体长≥2400mm，金属壁厚度大于3mm；

8.2可得气体纯度：水<1ppm，氧<1ppm，泄露率≤0.001vol%/h。

8.3手套箱系统真空泵：真空泵抽速不低于12m3/h，带油雾过滤器和气振；

9. 系统可靠性强，国内用户基础广泛，提供不少于 50 家真空蒸镀系统的

用户清单。

（二）主要配置要求

1. 真空腔室 1个

2. 电极 6组

3. 机架 1个

4. 膜厚仪 1台

5. 探头 2个

6. 加热电源 1台

7. 基片样品系统 1套

8. 真空系统 1套

（高真空设计，气密性良好，包括机械泵、分子泵、真空计及真空控制阀等）

9. 软件包 (操作控制软件) 1套

10. 循环水冷机 1台

11. 空气压缩机 1台

12. 手套箱 1套

（三）服务要求

1. 负责镀膜系统与手套箱系统的对接和调试；

2. 提供设备的操作培训；

3. 提供设备的常见问题处理培训，日常维护保养培训；

4. 质保期不少于2年，验收合格后起算。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用所提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（3分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（2分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币500相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2023年11月30日12：00将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1. 寄达时间：2023年12月4日 14：00前；

2. 收件人信息：

　收件人：丁老师

　联系方式：138*****427

　收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

（二）现场递交

1. 现场递交时间：2023年12月4日13：30～14：00

2. 现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2023年12月4日14：00。

十四、磋商时间：2023年12月4日14：00。

竞争性磋商公告附件.rar