磁控溅射镀膜机清设比选号采购公告
磁控溅射镀膜机清设比选号采购公告
采购项目名称：磁控溅射镀膜机
采购单位：北京市清华大学
付款方式：货到付款100%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后100个工作日内
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：1.真空腔结构：立式前开门结构，后置抽气系统； 2.真空腔室尺寸：Φ500mm×H420mm； 3.加热温度：室温~500℃； 4.基片台尺寸：Φ150mm； 5.膜厚不均匀性：Φ100mm范围内≤±5.0%； 6.溅射靶：Φ3英寸磁控靶3支兼容DC/MF/RF溅射； 7.工艺气体：2-3路气体流量控制； 8.控制方式：PLC/PC（可选）； 9.总功率：≥10kW。
质保期：12个月
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