真空镀膜系统采购公告
真空镀膜系统采购公告
| 项目名称 | AUTO306 真空镀膜系统 | 项目编号 | GY********* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 170*****37000 | 公告截止日期 | 170*****00000 |
| 采购单位 | 山东大学 | 付款方式 | 付款方式100%信用证，其中10%验收后支付 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 收到信用证后5个月内 |
| 预 算 | *****.0 | ||
| 收货地址 | 山东大学新一代半导体材料研究院 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 真空镀膜系统 | 1 | 台 | 其他电工、电子生产设备 |
| 品牌 | 英国HHV |
|---|---|
| 型号 | HHV Auto306 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | *****.0 |
| 技术参数及配置要求 | 真空腔室为不锈钢材质，宽度或直径不小于400mm，高度不小于500mm，前开门设计。配4组可切换转动热阻蒸发源，可使用蒸发舟或蒸发丝；腔室极限真空度：≤7.0x10E-5Pa，干燥洁净腔室可在45分钟内从大气抽到2.0x10E-4Pa，配备Edwards nEXT400D分子泵及Edwards RV12双级旋片式机械泵，真空控制系统采用PLC自动控制，自动完成系统抽真空、充气等各种真空操作，真空工艺腔室配备Edwards AIM-X-NW25冷电离高真空规；配备Inficon SQM-160膜厚测量仪，可实时测量并数字显示材料蒸发速率以及薄膜沉积厚度，可实时测量并数字显示材料蒸发速率以及薄膜沉积厚度，分辨率0.15A； |
| 售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时; |
标签: 真空镀膜
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