防护材料高通量材料制备系统项目

采购意向公开

为充分调查了解市场资源潜力、广泛征求供应商意见建议，确保采购需求论证充分、采购活动竞争充分、采购结果公平公正，根据军队采购工作有关规定，现就我部防护材料高通量材料制备系统项目采购意向进行公开发布，欢迎广大供应商来电来函或来人了解项目情况、提出宝贵建议，我们将及时向您反馈意见采纳情况。

一、采购单位

驻 北京 市 丰台 区某单位

二、采购需求概况

防护材料高通量材料制备系统1套。

三、概算金额

约 200 万元

四、初步技术参数

（一）功能用途

防护材料高通量制备系统应具备制备纳米厚度的金属、半导体、超导材料、氧化物、氮化物、碳化物等物质薄膜的功能，具备一些类金刚石、三元层状陶瓷等制备难度较高的薄膜制备功能，同时可实现薄膜材料的高通量制备。需满足防护材料高通量制备的教学与科研工作。

（二）主要指标

系统应采用超高真空脉冲激光沉积技术，系统应包括进样室、沉积室、四维高温样品台、靶材台、气路系统、高通量掩膜系统、激光能量测量系统、真空系统、激光光路、准分子激光器、控制系统等。具体应满足一下指标要求：

1. 基底尺寸：可达到2英寸。

2. 基底最高温度：在高氧压中所有基片材料可达900℃。

3. 沉积室极限真空：本底真空度优于9×10^-7 Pa，进样室极限真空：优于8×10^-6 Pa。

4. 靶台：φ1英寸×6个；靶材自转，同时可公转和摆动扫描，Z轴可自动升降。

5. 高通量掩膜系统：含三维位移台两套，掩模板可沿 X、Y、Z方向移动，可实现高通量材料制备。

6. 激光能量测量系统：可在线测量激光窗口能量，且不破空更换激光窗口。

7. 准分子脉冲激光器：脉冲功率不小于750 mJ，频率10 Hz，波长248 nm。

五、预计交付时间与地点

预计交付时间： 2024 年 10 月。

预计交付地点： 北京市 。

六、拟设定的供应商资格条件

（一）一般条件

1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条资格条件；

2.不在军队采购违规供应商“黑名单”内；

3.成立时间不少于3年，且为非外资独资或外资控股企业；

4.非联合体形式参加投标（报价）。

七、联系方式、联系人与意见反馈截止时间

联系方式：010-********（固话）/138*****248（手机）

联 系 人：陈女士

截止时间：2023年12月17日

八、特殊说明

1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，具体采购项目情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；

2.供应商可以通过采购平台反馈参与意向和意见建议。

九、监督热线电话

对采购意向公开过程中，供应商认为采购单位无故拒绝沟通、不听取合理建议，以及存在其他不当行为的，可向本单位采购管理部门反映。

监督热线：010-********

2023年 11 月 27 日