飞秒激光超大芯径光纤三维精密加工模块采购意向公示

我单位拟采购飞秒激光超大芯径光纤三维精密加工模块1套，为确保采购活动公平公正和竞争充分，现将项目需求参数进行网上公示，广大供应商可以对项目需求参数的完整性、合理性、公正性提出具体意见建议，防止出现指向性排他性问题。

一、项目名称

飞秒激光超大芯径光纤三维精密加工模块

二、采购需求概况

采购内容：

飞秒激光超大芯径光纤三维精密加工模块，包括掩模板加工用飞秒激光光源1套、直写加工用飞秒激光光源1套、掩模板加工模块1套、直写加工模块1套。

技术要求：

1. 掩模板加工用飞秒激光光源

波长：515 nm；功率：>250 mW@1 kHz；重复频率：100 Hz-5 kHz可调；单脉冲能量：>250 uJ；脉冲宽度：<230 fs；光斑圆度：90%；光斑大小：4.5 ± 0.5 mm；功率稳定性：<2% rms@8 h。

2. 直写加工用飞秒激光光源

波长：515 nm；功率：>10 W@1 MHz；重复频率：100 Hz-1000 kHz；单脉冲能量：>10 uJ；脉冲宽度：<270 fs；光斑圆度：90%；光斑大小：4 ± 0.5 mm；功率稳定性：<2% rms@8h。

3. 掩模板加工模块

（1）光束调整模块

反射镜、柱面镜、镜架等配套；衰减器：衰减范围1%-96%。

（2）运动控制模块

电控位移台：行程200 mm，分辨率4 μm、负载12 kg、滑台面尺寸60*60 mm；扫描振镜：标记速度6000 mm/s、重复精度<8 μRad；柱面镜运动控制：行程16 mm，闭环控制，精度<1 μm。

（3）机器视觉模块

固定式同轴机器视觉：600万像素、分辨率3072*2048。

（4）光纤调整模块

6轴姿态调整：X轴移动（±6.5 mm）、Y轴移动（±6.5 mm）、Z轴移动（±3.5 mm）、X轴偏摆（±7°）。

（5）控制软件

加工控制及过程监控：集成飞秒逐点刻栅、均匀扫描刻栅。

（6）其他硬件

大理石龙门架；面包板；封闭保护罩。

4. 直写加工模块

（1）激光传输及光束控制模块

电子光快门：控制激光开关，响应时间10 ms；电动功率调节器；高反射率介质膜透镜，宽带介质膜，反射率R>95%；高精不锈钢调节光学支架，俯仰和偏转调节；功率监测：波长范围为400-1100 nm；激光在线监测反馈模块。

（2）自动聚焦与成像模块

轴向视觉和同轴照明；CMOS科研级相机，500万像素，包括75mm长焦距镜头，刻写过程可视化；可以实时预览制作过程，可保存制备记录；高级激光自动寻焦算法；聚焦浸油物镜，放大倍数60×，数值孔径NA=1.42。

（3）精密运动控制加工台

XYZ轴的运动行程分别为60 mm、60 mm、20mm；XYZ最小步进值为50 nm；XYZ定位精度分别为：±300 nm、±300 nm，±200nm；XY最大负载：15 kg，Z轴最大负载：5 kg；具有旋转精密调节和角度精密调节功能。

（4）控制软件

自动化识别纤芯，自动定位加工焦点位置；软件界面可设置加工功率，光纤光栅结构参数等；加工光纤光栅方式包含逐点扫描法、逐线扫描法和变迹扫描法。

（5）其他硬件

大理石龙门架；面包板；封闭保护罩。

三、供应商资质要求

（一）具有企（事）业法人资格（有行业特殊的银行、保险、电力、电信等法人分支机构，会计师、律师等非法人组织，行业协会等社会团体法人除外）；

（二）国有企业；事业单位；军队单位；成立三年以上的非外资（含港澳台）独资或控股企业，国内市场无类似或可替代产品的企业除外。

（三）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）参加军队采购活动前3年内，在经营活动中没有受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、200万元以上罚款等重大违法记录；

（六）未被列入政府采购失信名单、军队采购暂停名单，未在军队采购失信名单禁入处罚期内，未被政府主管部门列入违法失信名单、重大税收违法案件当事人。

（七）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。生产型企业的生产场经营地址或者注册登记地址为同一地址的，非国有销售型企业的股东和管理人员（法定代表人、董事、监事）之间存在近亲属、相互占股等关联的，也不得同时参加同一包的采购活动。近亲属指夫妻、直系血亲、三代以内旁系血亲或近姻亲关系。

（八）法律、行政法规规定的其他条件。

（九）本项目不接受联合体投标。

四、概算金额

320万元人民币

五、预计采购时间

2024年3月

六、意见反馈方式和有关说明

供应商对本次公示内容存在合理化建议的，请在公示期内，采取专人送达、传真等方式书面递交我单位，我单位会反馈给予用户单位。提出的意见建议应当详细具体、理由充分、实事求是，不得有意排斥其它潜在供应商。反馈材料应当写明供应商名称并加盖单位印章，必要时可提供有关证明材料。

供应商提出的意见建议，将作为我单位初步论证完善需求参数要求的必要参考，是否采纳均不影响供应商参与本项目后续采购活动，我单位也不作书面回复。

七、联系方式

联系人：许助理

电话：0731-********　

地址：湖南省长沙市

八、公示期

即日起15个日历日