1.招标条件

本项目已通过主管部门审批，招标人为哈尔滨工业大学，项目已具备招标条件，现对该项目进行公开招标。

2.项目概况

2.1采购单位：材料学院

2.2项目名称：复杂钙钛矿结构薄膜多功能复合镀膜设备

2.3项目编号：HITGKZB-002

2.4采购数量：1

2.5采购预算：85万元人民币

2.6采购需求及主要技术指标（以用户提供的序号排列）：

真空腔室
电子束腔室内净尺寸Φ600×750mm，不锈钢腔室通水冷却；溅射腔室内净尺寸Φ500×420mm；

真空系统
复合分子泵+机械泵系统,气动真空阀门，两套真空泵组“两低一高”

显复合真空计；

极限真空
优于6.6×10-5Pa；

抽 速
从大气抽至6.0×10-4Pa≤45min；

电子枪蒸发室
功率：8KVA；4穴或6穴坩埚可选；最高加热温度300℃，可调可控；

考夫曼离子源
配备60mm考夫曼离子源一套；

磁控溅射室
3只3英寸磁控溅射靶；3套电源；直流、中频、射频自动匹配。

基片台
半球型基片台；基片台最大承重不小于5kg；旋转速度：0-60转/分钟，可调可控，可加偏压；

蒸发源离基片距离
蒸发源与基片距离≥350mm；

膜厚监控仪
美国INFICO

型号SQC-310 ；配备2只水冷探头；

控制方式
PLC+触摸屏控制系统；控制系统采用个性化设计定制，可直接输入参数，自动进行镀膜流程。满足复杂镀膜、光学镀膜需要。

报警及保护
对泵、电子枪等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；各种互锁保护，保障操作人员及设备的安全性；

占地面积
长×宽: 2000×3500mm；

质保时间：1年

供货时间：签订合同后6个月

3.投标人资格要求

3.1投标人需具备中华人民共和国境内的独立法人资格，本次招标不接受联合体投标，不允许将项目分包或转包。

3.2投标人需具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的条件，并未被列入政府采购黑名单。

3.3如果所投设备为进口产品，投标人需具备国外制造商在国内代理（销售）商资格或国外制造商出具的原厂授权函。

4．资格审查方式

本项目采用资格后审方式,主要资格审查标准、内容等详见招标文件。

5.投标报名

凡有意参加投标者，请于2016年3月16日至2016年3月22日(法定公休日、法定节假日除外)，每日上午8时30分至11时30分，下午13时30分至16时30分(北京时间)，将报名材料(本公告附件1、附件2)送达至哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼203房间。

6.招标文件的获取

如果报名符合开标条件，招标文件将以电子邮件的形式发送到您报名表中所留的邮箱，敬请自行查阅，哈工大招标与采购管理中心不再另行通知，请按招标文件要求交纳相关费用，以获取投标资格。

7.投标文件的递交

7.1投标文件递交截止时间及地点详见招标文件。

7.2逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

9.本项目招投标过程中如出现有弄虚作假、恶意投诉和无理缠诉行为的投标企业，将严格按相关法律和规定处理。

10.联系方式

招标机构：哈尔滨工业大学招标与采购管理中心

地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼203房间

邮编：150001

招标联系人：李占奎 李桂霞 电话： ****-******** 邮箱:zhankui@126.com

技术联系人：李春东 电话： ****-********

哈尔滨工业大学招标与采购管理中心

2016年3月15日