LDI光刻机招标公告

招 标 正 文
 

LDI光刻机招标公告

一、项目概况
（一）项目编号：********
（二）项目名称：LDI光刻机
（三）项目内容及需求：
1、数量：1台
2、交期：90日历天
3、技术要求：
3.1 运行模式：LDI直写曝光、自动对位、手动上下片的方式，可根据需求提供多模块同时曝光载片台、可分区曝光。
3.2 适用产品尺寸：适用于2/4/6/8寸标准圆片以及向下兼容方10*10/13*15/26*31/36*31mm方片加工。
3.3 设备分辨率及套刻精度：1μm @1.2μm胶厚(正负胶)，2±0.1μm@2.4μm胶厚(正负胶)， 4±0.1μm@5.5μm胶厚(负胶)，套刻精度 ±0.5μm。
3.4 mura现象：光刻图形无mura现象，芯片成像性能测试无mura现象。
3.5 产能要求：产能大于20片/小时@2inch/50mj/mm。
3.6 设备尺寸：重量小于700kg/m2，长宽高小于3.0/1.6/1.98 m
3.7 安全防护：具备安全互锁系统、漏电保护、紧急及警报系统、真空报警、安全危害操作标识等安全防护措施。
其他详见标书要求，报名截止后邮件发送。
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
（二）特定资格要求：
1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
2、本次招标不接受联合体投标。
3、本次招标要求提供打样。
三、供应商资料递交截止时间和地点
（一）截止时间：2023-12-28 17:30
（二）地点：武汉市东湖技术开发区黄龙山南路6号
四、联系事项
采购联系人：冯莎莎 电话：027-********
技术联系人：邓茜 电话：130-0618-5981
五、监督电话：
审计监察部：027-********

武汉高德红外股份有限公司
2023年12月20日

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 光刻机

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