减薄研磨系统采购项目-18所
减薄研磨系统采购项目-18所
一、项目名称： 减薄研磨系统-18所 二、项目概要： 1.主要内容： （1）研磨TTV：6寸片直径范围内，磨片后TTV≤3μm； （2）研磨速率：最快研磨速率≥8μm /min； （3）研磨精度（与设定研磨厚度的偏差） ≤±2μm； （4）抛光粗糙度：最高抛光粗糙度≤1nm； （5）崩边：晶片无豁口及裂纹不会出现崩边。 2.界面划分： 供货商承担供货及运输配送工作，并按期运抵委托方指定场所。 3.项目交付时间： 按委托方要求时间供货。 4.交货地点： 天津市滨海高新技术产业园区华科七路六号（委托方指定地点） 三、采购联系方式： 采购具体信息请联系相关采购人员。联系人电话：章硕022-******** 成交单位需为委托方合格供方，采购结果将在全军武器装备采购信息网发布
标签: 研磨
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