磁控溅射镀膜机招标公告

磁控溅射镀膜机招标公告

根据国家采购与招投标法律法规的相关规定,武汉大学拟对磁控溅射镀膜机进行公开招标,欢迎具备相应资格条件的投标人参加投标。现将有关事项公告如下:
一、招标内容: 磁控溅射镀膜机
1、本次招标共 1 标段:投标人可以对其中一个或多个标段进行投标,所投标段内项目必须完全响应本招标文件所列示内容。
2、招标范围:货物的供应、运输、安装、调试、培训和售后服务等。
二、投标人资格要求:
投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。
(一)具有独立承担民事责任的能力;
(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;
(五)参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;
(六)法律、行政法规规定的其他条件。
(七)本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件的时间:即日起至2016年4 月3 日。(欲购买标书的公司请登陆http://www.whuzb.com/SBZB/BidingList_Public.aspx 进行网上标书购买,标书费必须从公司基本账户汇出缴纳。)
四、开标时间:2016年 4 月 5 日上午9:00,
地点:武汉大学文理学部行政楼后财务楼四楼 采购与招投标管理中心会议室
五、联系人及联系方式:
项目联系人: 张老师 陈老师
联系电话: ********



武汉大学采购与招投标管理中心
2016年 3月 25日

武汉大学磁控溅射镀膜机招标文件

根据国家采购与招投标法律法规的相关规定,武汉大学拟对磁控溅射镀膜机进行公开招标,欢迎具备相应资格条件的投标人参加投标。
一、招标内容及技术指标要求(详见附件)
二、本项目招标时间安排
1、投标人提出书面问题时间:投标人应认真阅读招标文件中的所有条款、事项、格式和技术规范、参数、图纸、附表和附件等要求。如有疑问,应在投标截止时间3天前以书面形式提出(质疑函请注明公司名称、联系人、联系方式并加盖单位公章);逾期不予受理。
2、招标人发答疑文件时间:答疑文件或修改后的招标文件在投标截止时间2天前以电子邮件或电话方式通知所有购买招标文件的投标人。请投标人自行、及时查看邮箱(不及时查看邮箱者责任自负)。投标人应立即以传真或电邮形式回复招标人,确认已收到。没有回复的,视同已收到。
3、为使投标人有充分的时间重新编制投标文件,招标人有权推迟开标日期,并将此变更以电子邮件或电话方式通知所有购买招标文件的投标人。
4、投标文件递交时间:2016年 4 月 5 日上午8:30--9:00。地点:武汉大学文理学部行政楼后财务楼四楼 采购与招投标管理中心 405 室
5、投标截止及开标时间2016年 4 月 5日上午9:00。地点:武汉大学采购与招投标管理中心会议室
三、投标文件编制要求
投标文件所有内容须装订为一册,正本1份、副本2份。
1、投标文件须载明如下内容:投标函、开标一览表、分项报价清单、技术响应情况表、法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书、公司简介;公司营业执照、税务登记证、组织机构代码证复印件及投标产品生产许可证、质量合格证、销售许可证或代理销售资格证明等其它有关资质证明文件(复印件须加盖投标人公章)、供货期、质保期等。投标人应按本招标文件要求提交商务、技术部分的内容和需要投标人自行编写的其他文件。投标文件的编制要求及编排顺序必须使用格式样本。(请上本中心网站****************7.doc">http://zb.whu.edu.cn/uploadfile/2015/0901/****************7.doc下载“投标文件格式”)。
2、投标文件规格幅面(A4),按“投标文件格式”所规定的内容顺序,统一编目、编页码装订(投标文件中复印件及投标产品手册、介绍、说明书等技术资料均须与投标文件正文一起逐页编排页码)。
四、投标文件包封
1、投标文件1正本2副本合并成一个包封,封包上应写明投标人名称和项目名称(包括标段),在封袋骑缝处以显著标志密封,并加盖单位公章和法定代表人(或委托代理人)印签。
2、“开标一览表”请用信封单独密封,在投标截止时间前单独提交。信封上写明投标人名称、项目名称(包括标段)。信封骑缝处加盖单位公章和法定代表人(或委托代理人)印鉴。
3、投标人投报多个标段的,应对每个标段分别报价并分别填报开标一览表。
五、投标文件的递交
1、投标文件须由投标人的法定代表人或其委托代理人递交。
2、投标人应在规定的时间和地点递交投标文件,逾期递交的投标文件不予受理并原封退回。
3、未按规定进行密封的投标文件不予受理。
六、评标办法
(一)评标原则
公平、公正;竞争、择优;反不正当竞争。
(二)评审指标
一般以产品质量、技术参数、投标报价、供货期限、质量保证、售后服务、同类项目业绩、社会信誉等为主要指标。
(三)评标
1、符合性评审
评标委员会严格依据招标文件规定的各项要求,对投标文件的商务资质、技术配置、价格组成等进行审核,经评标委员会认定为符合性评审不合格,不得进入下一阶段评审。投标文件有下列情形之一的,视为符合性评审不合格:
(1)投标函未加盖投标人的公章及法定代表人印章(签字),或法定代表人委托代理人没有有效的委托书的;
(2)投标人资质、业绩证明文件未提供或不能满足招标文件的要求的;
(3)投标文件不满足招标文件技术规格中主要参数要求或主要参数无技术资料支持的;
(4)投标文件技术规格、参数超出允许偏离的最大范围的;
(5)投标文件技术规格中的响应与事实情况不符或虚假投标的;
(6)有备选方案的投标人,凡未按要求注明主选方案的;
(7)未按规定格式填写,内容不全或关键字迹模糊、无法辨认的;
(8)不符合招标文件中规定的其他实质性要求的。
2、详细评审
(1)评标委员会对已通过符合性评审的所有投标文件中的主要技术配置和性能参数进行逐一比较,明确不同品牌之间的参数或配置差异;
(2)评标委员会结合投标报价、技术性能、质量差异、同类项目业绩、售后保证等进行综合评审;
(3)评标委员会按照综合评审的原则,独立地对符合招标要求的投标进行择优排序。
3、有下列情形之一的,应进行重新招标
(1)所有投标人的投标报价均超过了采购预算的;
(2)因投标明显缺乏竞争时,评标委员会可以否决全部投标。
(四)定标
1、评标委员会综合各评委的评审结果,并按照评委中少数服从多数的原则,最终作出评标决定。评标决定可以直接确定中标人,也可以推荐中标候选人。当评审结果为“推荐中标候选人”时,须经商务谈判小组依序与中标候选人洽谈后确定中标人;
2、评标委员会完成评标程序后,对最终评标决定作出书面报告并由评委签名确认。
七、付款方式
1、国内设备:货到验收合格后支付90%货款,余额10%作为质保金在验收合格半年后支付。
2、进口设备:(1)合同金额在1.5万美元以下,货到验收合格后付款(T/T);(2)合同金额在1.5万美元以上采取信用证方式(L/C),签订合同后开出90%信用证,见单即付,余额10%作为质保金在验收合格一个月后采取电汇或其他方式支付。
采购联系人: 张老师 陈老师
联系电话:********

武汉大学采购与招投标管理中心
2016年 3月25 日


附件:技术要求 磁控溅射镀膜机招标主要指标:
l 镀膜薄膜材料类型:单质、复相薄膜、多层薄膜、化合物薄膜
l 镀膜室极限真空:≤1×10-5Pa;抽气时间:30分钟内优于2×10-4Pa;系统配备分子泵+机械泵组成超高真空抽气系统。
l 真空室要求:尺寸~300*300*400mm,真空室为方箱结构,材质为不锈钢,正面开门且门上配玻璃观察窗,观察窗配防污挡板,真空室配照明装置。
l 靶尺寸、数量,电源:2只φ50mm永磁靶;配自动匹配射频电源(500W)1套+直流电源(1000W)1套。
l 溅射方式:可以进行垂直溅射和共聚焦溅射,靶基距可调(40~80mm), 基片设有预溅射挡板。
l 基片可旋转、可加热:温度可调在0~500℃连续可调(精度±1oC);转速数显且连续可调。
l 3路MFC质量流量计控制气体流量;可用气体种类包括:Ar、O2、N2及一些腐蚀性气体,如氨气等。
l 真空测量:“两低一高” 数显复合真空计,两只电阻规分别测量前级及真空室低真空,一只电离规测量真空室高真空。
l 配备冷却水循环机机一台。
l 完善的逻辑程序互锁保护系统:对泵、靶、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。
l 数量一套

标签: 磁控溅射

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