0618-164TC16021ML/02低能量中束流离子注入机等设备国际招标国际招标公告(1)
0618-164TC16021ML/02低能量中束流离子注入机等设备国际招标国际招标公告(1)
中招国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-03-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中招国际招标有限公司受业主委托对下列产品及服务进行国际公开招标:低能量中束流离子注入机,化学机械抛光系统
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0618-164TC16021ML/02
招标项目名称:低能量中束流离子注入机等设备国际招标
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 低能量中束流离子注入机 | 1套 | 将需要掺杂的杂质离子经过离化、加速和质量分析,成为一束由所需杂质离子组成的高能离子流而投射入硅片内部,并通过机械扫描完成对整批硅片的杂质注入。 | 1包 |
2 | 化学机械抛光系统 | 1套 | 化学机械抛光系统由研磨系统、清洗系统、传送系统、供液系统和控制系统等部分组成。 | 2包 |
标签: 能量
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