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膜厚仪招标公告
（招标编号：0722-2024FE5304CQZ）
项目所在地区：重庆市,市辖区
一、招标条件
本膜厚仪已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为自筹资金 460 万元，招标
人为中国电子科技集团公司第二十四研究所。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招
标。
二、项目概况和招标范围
规模：/
范围：本招标项目划分为 1 个标段，本次招标为其中的：
(001)膜厚仪 ;
三、投标人资格要求
(001 膜厚仪 )的投标人资格能力要求：本次招标实行资格后审，投标人应满足下列资格
条件：
3.1 投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组
织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2 业绩要求：投标人提供本次投标同型设备从 2020 年至今的任意一年内用于半导体产线
的销售业绩，且一年中累计销售 10 台及以上；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现
合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物及其型号、以及用于半导体产线的证
明材料。
3.3 其它要求：本次招标接受代理商投标，代理商投标的需要提供有效的制造商授权。
3.4 本次招标不接受联合体投标。
3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。
注：投标人的资格要求具体详见招标文件第二章“投标人须知前附表”第 1.4.1 项。;
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：从 2024 年 01 月 09 日 09 时 00 分到 2024 年 01 月 15 日 17 时 00 分
获取方式：(1)凡有意参与本项目的供应商，请务必在本项目采购文件领取截止时间前，
登录中国远东招采平台（门户登录地址：https://www.cfeitc.com.cn/）进行操作（免费注
册）。(2)注册并首次登录后，进入【企业用户中心-财务管理-收付款及开票信息维护】添加
供应商保证金付款账号（须为供应商基本账户）和供应商开票信息；然后，进入【企业用户
中心-财务管理-收付款及开票信息分配】，将添加好的收付款及开票信息分配到中国远东招
采平台。非首次登陆可省略此步骤。(3)在供应商系统中的【采购公告】、【我的邀请】搜索
项目名称或项目编号，选择本次参与的项目，进入标段工作台进行项目后续操作。(4)本项
目无需报名审核，供应商可在【标段工作台-招标文件】，点击【购买招标文件】直接在线上
支付标书费（支持个人微信、支付宝）并下载采购文件，支付完成后系统自动开具增值税普
通发票，供应商可在【缴费订单】中自行下载。(5)供应商在中国远东招采平台注册、报名
过程中如遇不清之处，请与平台联系人芦老师、殷老师（电话：010-64291720 转 8155）联
系。
五、投标文件的递交
递交截止时间：2024 年 01 月 30 日 14 时 00 分
递交方式：重庆市高新区西永大道 36 号圣荷酒店会议室纸质文件递交
六、开标时间及地点
开标时间：2024 年 01 月 30 日 14 时 00 分
开标地点：重庆市高新区西永大道 36 号圣荷酒店会议室
七、其他
1. 招标条件
本招标项目膜厚仪 招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所，招标项目资金来自自
筹资金，出资比例为 100%。该项目已具备招标条件，现对膜厚仪 进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 项目名称：膜厚仪
2.2 设备数量：1 台
2.3 用途说明：本次购买的膜厚仪主要应用于集成电路制造生产线上的非金属薄膜厚度测量
的全自动化设备，支持手动上下货，支持 SEMI 所有薄膜量测标准。该测量系统可用于无损
自动测量逻辑和模拟等各种硅片上薄膜层（多晶，氧化层，Nitride，BPSG，SION,光刻胶等）
的膜层厚度 T、折射率 n、消光系数 k。系统平台为整个设备提供一个对外（工厂自动化）
及对内（测量系统）的公共平台接口，其中包含设备前端模块（EFEM）、硅片定位系统、图
像识别系统、内部环境控制系统、工控机及供电管理等。本项目购置的膜厚仪为 8 英寸全新、
配置 SMIF port、具备 EAP 通讯功能。
2.4 技术要求：具体详见招标文件第五章供货要求。
2.5 交货地点：重庆市沙坪坝区西永大道 23 号。
2.6 交货期：合同生效后 6 个月。
3.投标人资格要求
本次招标实行资格后审，投标人应满足下列资格条件：
3.1 投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组
织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2 业绩要求：投标人提供本次投标同型设备从 2020 年至今的任意一年内用于半导体产线
的销售业绩，且一年中累计销售 10 台及以上；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现
合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物及其型号、以及用于半导体产线的证
明材料。
3.3 其它要求：本次招标接受代理商投标，代理商投标的需要提供有效的制造商授权。
3.4 本次招标不接受联合体投标。
3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。
注：投标人的资格要求具体详见招标文件第二章“投标人须知前附表”第 1.4.1 项。
4. 招标文件的获取
4.1 获取时间：2024 年 01 月 9 日至 2024 年 01 月 15 日，每天 9:00 至 12:00，14:00 至
17:00（北京时间，法定节假日除外）。
4.2 获取采购文件的方式：
(1)凡有意参与本项目的供应商，请务必在本项目采购文件领取截止时间前，登录中国远东
招采平台（门户登录地址：https://www.cfeitc.com.cn/）进行操作（免费注册）。
(2)注册并首次登录后，进入【企业用户中心-财务管理-收付款及开票信息维护】添加供应
商保证金付款账号（须为供应商基本账户）和供应商开票信息；然后，进入【企业用户中心-
财务管理-收付款及开票信息分配】，将添加好的收付款及开票信息分配到中国远东招采平
台。非首次登陆可省略此步骤。
(3)在供应商系统中的【采购公告】、【我的邀请】搜索项目名称或项目编号，选择本次参与
的项目，进入标段工作台进行项目后续操作。
(4)本项目无需报名审核，供应商可在【标段工作台-招标文件】，点击【购买招标文件】直
接在线上支付标书费（支持个人微信、支付宝）并下载采购文件，支付完成后系统自动开具
增值税普通发票，供应商可在【缴费订单】中自行下载。
(5)供应商在中国远东招采平台注册、报名过程中如遇不清之处，请与平台联系人芦老师、
殷老师（电话：010-64291720 转 8155）联系。
4.3 售价：500 元（售后不退）。
4.4 本项目采用资格后审合格制，报名成功不代表评标现场通过资格审查，投标文件中需提
供完整、清晰、齐全的资格证明文件。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间（同投标截止时间，下同）为：2024 年 1 月 30 日 14 时 00
分（北京时间，下同），递交投标文件时间：2024 年 1 月 30 日 13 时 30 分－2024 年 1 月
30 日 14 时 00 分。地点：重庆市高新区西永大道 36 号圣荷酒店会议室。
5.2 逾期送达或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。
6. 发布公告的媒介
本次招标公告在“中国招标投标公共服务平台（http://www.cebpubservice.com/）、中国电
科电子采购平台（www.cetceg.com）”上发布。
7. 联系方式
招标人：中国电子科技集团公司第二十四研究所
地址：重庆市高新区西永大道 23 号
联系人：吴勇
电话：023-65860107
招标代理机构：中国远东国际招标有限公司
地 址：重庆市江北区五里店嘉景园 B 座 14-1
联系人：张凤
电话：023-67095002 13628336113
传真：023-67095001
八、监督部门
本招标项目的监督部门为中国电子科技集团公司第二十四研究所。
九、联系方式
招 标 人：中国电子科技集团公司第二十四研究所
地 址：重庆市高新区西永大道 23 号
联 系 人：吴勇
电 话：023-65860107
电子邮件：/
招标代理机构：中国远东国际招标有限公司
地 址： 重庆市江北区五里店嘉景园 B 座 14-1
联 系 人： 张凤
电 话： 13628336113
电子邮件： 502442677@qq.com
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）