采购人名称:潍坊市高新区政府采购中心 地址:潍坊市高新区北宫东街173号 联系方式:****-*******、*******
采购代理机构名称:潍坊市鲁成招标有限公司 地址:潍坊市胜利东街1982号 联系方式:****-*******、*******
招标项目名称、用途、数量、简要技术要求或招标项目的性质：
1、项目名称：中微光电子（潍坊）有限公司光电子研究院设备采购。
2、招标内容：包一：高分辩率X光衍射仪，数量一台；包二：ICP刻蚀机，数量一台。
3、设备简介：3.1 高分辩率X光衍射仪：用于检测外延薄膜的组成，结构和质量，可测试GaAs, InP, GaN, Si, SiGe等材料外延片。主要参数要求：角度分辨率: 0.00005度 测角重现性:+-0.0001度。
3.2 ICP刻蚀机主要参数要求：ICP功率>1000W，RF功率>300W，腔压可控制在1mTorr，刻蚀速率>1um/min，均匀度：+/-5%。
4、供应商资格要求：4.1设备制造商或代理商的正式授权；4.2在国内有独立维修服务中心或服务部门。
本项目联系人：姚永华 赵清波 联系电话：0536—8875351、******* 电子邮箱：wfzb123@163.com
其他：
1、报名时间：2007年4月4日至2007年4月8日。地点：潍坊市鲁成招标有限公司（地址：胜利东街与金马路交叉路口东南角华都鲁成大厦八楼805室）。
2、报名时需携带企业营业执照、生产或销售许可复印件。
3、获取招标文件时间：2007年4月8日开始（上午9:00至下午5:00）。获取方式：现场发售。
4、具体要求详见招标文件。
二ОО七年四月三日