有机-金属真空热蒸镀仪
有机-金属真空热蒸镀仪
一、项目信息
项目名称：有机-金属真空热蒸镀仪
项目编号：620*****701******
项目联系人及联系方式： 陈今波 187*****681
报价起止时间：2024-01-17 17:10 - 2024-01-22 17:10
采购单位：南华大学
供应商规模要求： -
供应商资质要求： -
供应商基本要求：满足湖南省政府采购电子卖场管理办法的供应商
二、采购需求清单
| 商品名称 | 参数要求 | 购买数量 | 控制金额(元) | 意向品牌 |
| 有机-金属真空热蒸镀仪 | 核心参数要求: 商品类目: 学科专用仪器设备; 总体要求:1.1 设备总长不超过1.3米。 1.2 采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质铝型材搭建。 1.3 机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。;样品台:2.1样品盘可安装120 mm x 120 mm的基片托盘。 2.2 基片盘可旋转，旋转速度0-30转/分可调。 2.3 提供一套掩膜板，图案根据用户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。蒸镀图案边缘宽度误差小于0.1mm。 2.4 样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性。;蒸发源:3.1 共6组蒸发源，6组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；每个源配独立的防污板。 3.2 蒸发电源功率1.4KW以上；用于蒸发金属和有机，可切换到6组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制。 3.3 金属蒸发源均带有水冷功能。;膜厚测量系统-1:4.1 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度。 4.2 膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度1A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性±2ppm（0-50度)，测量周期0.1-1秒可调。带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。;膜厚测量系统-1:4.3 水冷石英晶振探头4个，作为主体监测探头，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。;蒸发腔体-1:5.1 腔本由SUS304制作，其内部尺寸不小于450×450×600mm。 5.2 腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理 5.3 腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8Ra；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8 Ra；整体要求美观，无擦伤及划痕。;蒸发腔体-2:5.4 腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa. m3/s，保压12小时，压强小于10Pa。 5.5 带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；;蒸镀软件控制系统:6.1 采用PLC，触摸屏控制； 6.2 真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。 6.3 带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温。也可手动输入控制数据。;采购人需求描述:-; 次要参数要求: | 1台 | ******.00 | 苏州方昇 武汉普迪 |
响应附件要求：-
三、收货信息
送货方式: 送货上门
送货时间: 工作日09:00至17:00
送货期限: 竞价成交后90个工作日内
送货地址： 湖南省 衡阳市 蒸湘区 蒸湘街道 南华大学电气工程学院
送货备注： -
四、商务要求
| 商务项目 | 商务要求 |
| 商务要求 | （所列要求均为核心参数）：（含维修、培训、售后服务要求、送货要求、交货期，质保期，维护保养，技术培训和其他要求）1、质保期 质保期 1年，卖方需在质保期内免费提供上门维修和技术支持服务。 2、交货期 合同签订后90天内安装调试完成 3、售后服务 卖方应保证按照投标文件的承诺提供良好的售后服务，并告知买方其在湖南省境内售后服务的名称、办公地点、联系人、联系方法等。 4、维修要求 卖方在接到用户报修通知后，应立即做出响应，须在48小时内到达现场，而且必须在7个工作日内负责解决故障 |
标签: 有机
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