山东大学对等离子体增强化学气相沉积系统项目（第三次）以单一来源方式进行采购。

一、项目基本情况：

1、项目编号：SDJXHD********-Z197

2、项目名称：等离子体增强化学气相沉积系统

3、项目预算：990万元人民币。

二、公示内容(详细说明购置理由及单一来源采购理由)：

拟购买的等离子体增强化学气相沉积系统适用于在低温下在晶圆上沉积钝化层同时实现无损伤的沉积。该设备能够制备高致密度的保护膜作为半导体器件表面保护层，可实现对功率芯片与外界环境的隔绝，包含氧气、水蒸气等，是实现高可靠性功率芯片的重要因素，是衔接芯片制备和下游封装的关键环节。

经用户调研，拟购买SPTS公司的设备能够在200℃以下沉积SiO2薄膜，同时通过沉积阶段引入H2和沉积后H2等离子体处理，分别能够提高SiO2薄膜的致密度和抑制水蒸气在SiO2表面的吸附，对降低漏电流、提高击穿电压具有显著作用，实现107V·cm-1的耐压指标，调研的其他企业都难以实现上述指标。另一方面，拟购设备具有独特的托盘温控设计，为了实现较低温度下托盘的温度均一性，用热空气代替传统的电阻丝加热方式，避免温度过冲的风险，以实现高指标大面积介质层薄膜的沉积。SPTS Technology Ltd.公司在国内的指定合作供应商为苏美达国际技术贸易有限公司。因此采用单一来源方式采购。

三、拟定唯一供应商名称：苏美达国际技术贸易有限公司

四、资格要求：

1.具有本项目生产、制造、供应或实施能力，符合、承认并承诺履行本文件各项规定的供应商均可参加投标。

2.遵守有关的国家法律、法规和条例，具备《中华人民共和国政府采购法》和本文件中规定的条件：

1)具有独立承担民事责任的能力；

2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

5)参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；

4.本次采购不接受联合体报价。

五、获取采购文件：

登录山东大学采购网（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）进行供应商注册，注册完成我中心审核通过后，再次登录系统在线提交获取采购文件申请，审核成功后自助下载采购文件。

六、开标时间：2024年2月2日14点30分。

七、投标流程：

本项目采用电子招投标方式采购。投标供应商必须按相关程序办理数字证书和安装投标文件工具后方可上传递交投标响应文件。详细操作说明见山东大学采购网（www.cgw.sdu.edu.cn）--资料下载--山东大学电子投标指南文件。

八、发布公告媒介

本次采购公告在中国政府采购网和山东大学采购网上发布。

九、公告时间：

自本公告发布之日起五个工作日。

十、联系方式

采购人：山东大学

采购机构：山东大学招标采购管理中心

通讯地址：山东省济南市山大南路27号山东大学招标采购管理中心

邮政编码： ******

联系电话： 0531--******** 　

　　 山东大学招标采购管理中心

2024年1月26日