探针台采购采购公告
探针台采购采购公告
| 项目名称 | 探针台采购 | 项目编号 | XHGD-CG-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 170*****03000 | 公告截止日期 | 170*****00000 |
| 采购单位 | 西湖大学光电研究院 | 付款方式 | 90%LC，10%验收后TT |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后10工作日 | 到货时间要求 | 签约后120个自然日 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 浙江省杭州市西湖区石龙山街18号，西湖大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 探针台 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.▲探针台，主要构成包括探针台底座、滑台、载物台、台板、显微镜成像装置、探针座、探针、电缆、屏蔽暗箱以及真空装置等。2.可测试样品最大晶圆尺寸： 6英寸；并能兼容处理4英寸晶圆。3.▲配置6套直流针座，针座X、Y、Z轴移动范围≥12.5mm×12.5mm×12.5mm，移动分辨率100TPI，磁性吸附固定。（投标时需附上产品彩页或检测报告）4.★配置三同轴载物台，材质：不锈钢；载物台平整度：≤±5um；具有50 mm、 100 mm、 150 mm共3个真空环带，3个真空开关；中心真空孔直径0.4mm。（投标时需附上产品彩页或检测报告）5.★载物台可被水平拉出移动：≥90mm，并具有锁止功能，方便放置待测晶圆/被测件。6.★配置：≥3个子载物台；子载物台尺寸：≥18mm×26mm，不少于两个子载物台可支持真空吸附；用于测量校准、清针和单粒器件吸附，支持今后扩展研发射频项目的功能：用于射频校准与接触调整。（投标时需附上产品彩页或检测报告）7.★载物台X、Y轴移动行程≥150mm*150mm；X、Y轴移动分辨率≤5um；整个150mm范围移动平整度≤10um；且载物台的X、Y轴具有锁止功能，保证测试安全性。（投标时需附上产品彩页或检测报告）8.★载物台Z轴行程≥10mm，通过摇杆实现快速升降，行程0~3mm。（投标时需附上产品彩页或检测报告）9.★载物台Theta轴旋转范围≥±8°。10.★探针台板高度调节范围≥40mm， 200um快速接触/分离功能，重复精度≤1um，台板到卡盘的最小高度≤16mm, 利于精确扎针和提升测试效率。（投标时需附上产品彩页或检测报告）11.★配置 6套直流针臂,针臂性能要求：（投标时需附上产品彩页或检测报告）1)温度适用范围：-60℃～300℃；2)具有SSMC连接电缆， 可与带SSMC端口的探针连接；3)具有两个小型三轴同轴连接端口， 支持与带小型同轴端口电缆的连接；4)特性阻抗：50欧姆；5)最大耐受击穿电压： ≥500V；6)最大电流： 可达1A。12.★直流针臂在屏蔽环境下， 漏电≤2fA。（投标时需附上产品彩页或检测报告）13.载物台漏电，屏蔽环境下，漏电≤50fA; 无屏蔽环境下，漏电≤200fA。（投标时需附上产品彩页或检测报告）14.★配备6个直流针座，直流针座性能要求：（投标时需附上产品彩页或检测报告）1)可适用于直流探针臂的安装固定，适用于直流测量；2)特征分辨率≤1um；3)丝杠周圈分辨率≤250um；4)高精度交叉滚子轴承设计，XYZ三个移动方向独立性能优越；5)过行程保护机制避免针座锁止产生应变，破坏精度；6)探针底座尺寸:≤90mm*60mm；7)主要适用于 I-V、 C-V 和失效分析领域；8)固定方式：磁吸；9)针座底部预留缝隙，可以通过配置导轨舌片进行机械限位，满足防呆设计，防止误操作撞针。15.★配备6个直流探针，直流探针性能要求：（投标时需附上产品彩页或检测报告）1)温度适用范围：-65℃～150℃；2)全屏蔽防护构造；支持低漏电测试要求，达到fA量级；3)最大耐受击穿电压： ≥500V；4)具备双连接端口：SSMC接口；5)可支持更换的针尖半径尺寸：5um；6)支持针尖材料： 钨针；7)特性阻抗： 50欧姆；8)频率响应(3dB): 150MHz。16.★配备12根直流电缆， 直流电缆性能要求：1)三轴电缆, 长度＞0.6m；2)电缆两端均是阳头；一端是标准三轴同轴头，一端是小型三轴同轴头；3)电缆一端：小型三轴同轴头可兼容连接到直流探针臂上; 另一端可连接到三轴转换面板；4)电缆具备低漏电特性，可适用于≤20FA测量环境要求。17.★配置一个CCD摄像头，性能指标要求：1)传感器：CMOS；2)分辨率＞ 12M；3)像素尺寸＜1.85um*1.85um；4)最大信噪比：0.1mV@30sec。18.★要求厂家具有整体解决方案， 有力提供同一品牌的能满足各种测试附件， 包括主机、直流针座、直流探针臂、直流探针、直流电缆等， 并具备今后升级可配套微波部件和射频校准件、射频校准软件等测试能力；19.★要求厂家具有良好的产品制造质量和能力；（投标时需附上质量证书）20.支持今后功能升级，可添加微波部件， 实现射频S参数测量；21.探针台满足CE、CB等任一行业认证；22.配置1盒直流针尖：10支，针尖材质： 钨，针尖易于更换， 可与直流探针配套；23.配置体式显微镜，放大倍数为15-100X，带有LED照明系统，配备CCD标准接口，支持连接CCD摄像头；24.配置三轴转换面板一个；25.配置北向台板垫板一套，国内定制加工，用于扩展放置更多针座，方便测试；26.配置国内定制的屏蔽暗箱1套；27.配置国内配套的真空泵1个；28.随机配置装机工具盒一套，方便机器安装和日常维护。（具体见附件中技术参数文件） |
| 售后服务 | 质保期:一年; |
标签: 探针
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