燕东科技12吋涂胶显影设备采购国际招标公告2
燕东科技12吋涂胶显影设备采购国际招标公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 抗反射层涂胶机 | 1台 | 该设备主要用于BARC匀胶工艺 | |
2 | KrF涂胶显影机 | 1台 | 该设备主要用于配合KrF光刻机完成匀胶和显影工艺 | |
3 | I-Line涂胶显影机 | 2台 | 该设备主要用于配合I-Line光刻机完成匀胶和显影工艺 |
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