磁控溅射成膜机国际招标公告1/07
磁控溅射成膜机国际招标公告1/07
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 磁控溅射成膜机 | 3台 | (1)本装置用于G6 LTPS/LTPO(OLED)制程,进行物理气相沉积工艺; (2)设备类型:枚叶式;设备可用于生产TI/MO、TI/AL/TI;投标文件中需提供详细说明; (3)设备的稼动率(每月的统计):≥75%;投标文件中需提供详细说明。 | 0730-244*****0007-07 |
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