产教融合平台-影像中心-真空蒸镀镀膜系统采购项目采购公告
产教融合平台-影像中心-真空蒸镀镀膜系统采购项目采购公告
项目名称 | 产教融合平台-影像中心-真空蒸镀镀膜系统采购项目 | 项目编号 | ZBZXHB******* |
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公告开始日期 | 170*****36000 | 公告截止日期 | 170*****00000 |
采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 请查看比选文件 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后30个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后30个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 成都市华西校区前沿医学中心研究极大楼 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
真空蒸镀镀膜系统 | 1 | 台 | 真空应用设备 |
品牌 | - |
---|---|
型号 | - |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 2组金属蒸发源加热温度 室温~250℃详细如下:1.真空腔室腔室内尺寸Φ600×750mm(以实际设计为准),不锈钢腔室通水冷却;2.真空系统复合分子泵+机械泵系统,抽速:2000L/S,气动真空阀门,“两低一高”数显复合真空计;3.极限真空空载优于5.0×10-5Pa(24小时以内);4.抽速空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤35min;(烘烤除气后)5.漏率设备升压率≤0.8Pa/h;设备保压:停泵12小时候后,真空≤8Pa;6.蒸发源及蒸发电源 2组蒸发源,水冷结构;国产蒸发电源,电源功率3000W 1台;7.水冷基片台基片台水冷结构,可承载Ф200mm尺寸的基片,可根据客户要求提供对应规格的工件托板(材质硬铝做阳极氧化),保证样品与水冷基片台贴合紧密;工装设计需要和客户沟通再设计;8.基片旋转旋转速度:5~20转/分钟,可调可控,可加偏压;9.膜厚不均匀性Ф200mm≤±5%;(镀铝膜层)10.膜厚监控系统 Infocon SQC-3102通道膜厚仪,1个原厂经济型探头,可实现蒸发源速率控制及膜层终厚控制;11.控制方式PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统; (可实现抽真空、镀膜至停止真空全过程自动);12.报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统;13.冷却循环水机≥2P,医用静音空气压缩机1台。占地面积长×宽: 2500×1600mm。 |
售后服务 | 服务年限:6月;电话支持:7x8小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
标签: -真空蒸镀镀
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