项目概况

12寸全自动探针台 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2024年04月09日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：清设招第********号

项目名称：12寸全自动探针台

预算金额：230.****** 万元（人民币）

最高限价（如有）：230.****** 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍 ：用于半导体晶圆测试系统.

简要技术指标 ：

1. ★测试温度范围： -55℃~150℃
2. ★测试温度精度：±1℃
3. ★可测晶圆尺寸容量：8吋、12吋 (200mm and 300mm)
4. 可接受的管芯大小：350um~100,000um
5. ▲系统总体精度：±1.5 um
6. ★X轴、Y轴的精度：±1.5um
7. X轴、Y轴的最小移动量：1um
8. X轴、Y轴分辨率：＜0.005 um
9. ▲X轴、Y轴 probing area: ±175mm
10. ★Z轴精度：±1.5 um
11. Z轴分辨率： 0.011 um
12. Z轴速率： 50 mm/sec
13. ▲Z轴承载力: >＝ 400kg
14. q轴调节范围 ： ±5°
15. q轴分辨率: 0.0002°
16. CHUCK的平坦度: ＜15um
17. 清针台的平坦度: ＜20um
18. 可以对接测试机T5830SSTH
19. ▲支持TSK, TEL的map格式
20. ▲支持TSK, TEL的GPIB通信协议

合同履行期限：90天

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

需要落实的政府采购政策：扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等。

3.本项目的特定资格要求：1）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；3）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；

三、获取招标文件

时间：2024年03月14日 至 2024年03月21日，每天上午8:00至12:00，下午13:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

方式：本项目招标文件网上发售，潜在投标人在线提供申请材料，经审核通过后获取电子版招标文件。

售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2024年04月09日 09点00分（北京时间）

开标时间：2024年04月09日 09点00分（北京时间）

地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

无

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址：北京市海淀区清华园　　　　　　　　

联系方式：王琦********　　　　　　

2.项目联系方式

项目联系人：王琦

电　话：　　********