振镜清设比选号采购公告
振镜清设比选号采购公告
采购项目名称:振镜
采购单位:北京市清华大学精密仪器系9003大楼203
付款方式:货到付款100%
签约时间要求:成交后5个工作日内
交货时间要求:签订合同后150个工作日内
交货地址:北京市清华大学精密仪器系9003大楼203
技术参数及配置要求:Aerotech精密振镜系统,包含振镜驱动器(Automation1-GL4-20),用于紫外(DUV-UV)波段激光加工,最高加速度****** m/s^2,连续加速度***** m/s^2,定位速度75 m/s,1 mm跳转时间270 μs。 光阑10 mm,最大偏转角度20°,偏转反馈分辨率0.012 μrad(25bit),误差0.005%。
质保期:36个月
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